石英加速度傳感器是用撓性支承技術所以稱為石英撓性加速度傳感器，且其結構與工藝與之野夫式的結果大大的簡化了。目前這種石英撓性加速度傳感器已廣泛應用于各類現代慣性體系中。為了掌握加速度計內部溫度場規(guī)律,得到內部的實時溫度,建立石英撓性加速度計的熱模型,進行熱分析。根據仿模型設計溫度試驗,驗證了模型的正確性。在加速度計穩(wěn)定狀態(tài)下,溫度值與試驗值差0.2℃左右;根據試驗結果對結果進行修正,將修正后的結果與試驗結果進行比較,得到兩者的差值為-0.011℃,有效地提高了結果的準確性。因此,可以通過修正結果得到加速度計內部的實時溫度。

石英撓性加速度傳感器的性能指標；測量精度高，重復性佳，單軸石英撓性加速度計可靠性高體積小，重量輕寬壓供電，功耗低。模擬電信號輸出技術指標技術性能量程±60g閾值(分辨率)1×10-5g偏值（K0）＜4mg偏值（K0）溫漂＜40μg/℃偏值（K0）年穩(wěn)定性1mg標度因數（K1）1.2～1.46mA/g 。此石英撓性加速度計的使用場景、飛機、艦艇、戰(zhàn)車、水下等制導系統(tǒng)必須要有速度和位置信息，在要求低的場合人們使用空速度計、馬赫數傳感器、里程計等。石英撓性加速度計是目前慣性技術領域中應用廣、發(fā)展快的慣性器件。在工作環(huán)境溫度恒定條件下，石英撓性加速度計測量精度較高。但由于結構不完善，當工作環(huán)境溫度變化或者自身工作發(fā)熱時將導致其零偏和刻度因數不穩(wěn)定，進而影響慣導系統(tǒng)精度。針對溫度變化影響石英撓性加速度計測量精度問題，國內外眾多學者從控制工作環(huán)境溫度、進行溫度補償及改善工藝技術等方面已作了大量的研究，但對于石英撓性加速度計熱-結構變形的研究還不夠深入。

單軸石英撓性加速度計是測量線加速度的高精度傳感器,在慣性導航系統(tǒng)中具有重要的作用。然而石英撓性加速度計在使用時容易導致石英擺片撓性梁的斷裂,磁感應強度容易受時間、溫度等環(huán)境因素的影響導致測量產生不穩(wěn)定性現象。石英撓性加速度計抗振性能良好，其測角精度為角秒級。主要用于石油鉆井的隨鉆測斜系統(tǒng)和連續(xù)測斜系統(tǒng)中，并可廣泛用于其它工作環(huán)境惡劣的系統(tǒng)中。石英撓性加速度計高精度，用于各種物體的姿態(tài)測量和導航。