潔凈室(區(qū))內(nèi)設(shè)置真空泵時,應(yīng)符合下列規(guī)定

潔凈室（區(qū)）內(nèi)設(shè)置真空泵時，應(yīng)符合下列規(guī)定：1．電子工廠裝修對于傳輸、自燃化學(xué)品或高濃度氧氣的真空泵，應(yīng)采用不燃泵油，并應(yīng)配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。2．對傳輸含有可燃?xì)怏w的真空泵，可燃?xì)怏w濃度超過下限的20%時，應(yīng)設(shè)尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應(yīng)去除或稀釋可燃?xì)怏w組分。3．使用油潤滑的真空泵應(yīng)設(shè)置除油裝置，除油后尾氣應(yīng)排入排氣系統(tǒng)。

潔凈區(qū)內(nèi)各潔凈室的門,考慮到維持室內(nèi)壓力狀況的需要

潔凈區(qū)內(nèi)各潔凈室的門，考慮到維持室內(nèi)壓力狀況的需要，其開設(shè)方向要朝向壓力大的房間，因為要靠壓力把門壓緊，這顯然和安全疏散的要求相反。為了考慮平時潔凈和緊急疏散時的兩方面要求，規(guī)定潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)之間的門、潔凈區(qū)與室外的門作為安全疏散門對待，其開啟方向一律朝向疏散方向，當(dāng)然，單設(shè)的安全門也是如此。潔凈室的建筑裝飾工程主要是指除主體結(jié)構(gòu)和外門外窗之外的包括地面與樓面裝飾工程。

如果選擇集中式潔凈空調(diào)系統(tǒng),空氣處理設(shè)備

如果選擇集中式潔凈空調(diào)系統(tǒng)，空氣處理設(shè)備集中在機房內(nèi)，通過輸送管把處理后的空氣分配給末端裝置，再送到實驗室內(nèi)，以不同換氣次數(shù)和氣流形式來實現(xiàn)潔凈等級參數(shù)的綜合控制。其特點是處理空氣量大，便于參數(shù)控制，是實驗室裝修在潔凈工程方面的方式。如果選擇分散式潔凈空調(diào)系統(tǒng)，會在實驗室有潔凈需求的區(qū)域配置單獨的空調(diào)處理系統(tǒng)，在出風(fēng)口處通過過濾器進(jìn)行空氣處理，然后分配給末端裝置，從而實現(xiàn)潔凈等級參數(shù)的綜合控制。通常來說，此方式適合局部有潔凈需求的實驗室。