無塵車間潔凈室管理制度

1 半導(dǎo)體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行，在施工中必須遵循行業(yè)規(guī)則和程序。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。為了保證項(xiàng)目的成功，現(xiàn)場的每一位人員都必須遵守。

2 圖紙上對于施工的潔凈建設(shè)草案將被強(qiáng)制執(zhí)行。這包括除了原料和成品倉庫以外的所有主廠房內(nèi)的地方。

3 潔凈室施工管理制度目前主要針對一期主廠房內(nèi)的局部改造和擴(kuò)建，后期所有潔凈室施工項(xiàng)目仍按照本制度規(guī)定的原則進(jìn)行管理。

實(shí)力公司用案例說話，全國各地竣工潔凈、凈化、無塵車間、廠房工程眾多，免費(fèi)咨詢、設(shè)計，可就近安排去感興趣的工程項(xiàng)目實(shí)地參觀考察

無塵車間該如何防止微粒子污染呢？

在高等級的無塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。人員進(jìn)入無塵車間必須按個人衛(wèi)生與工作服裝管理要求，穿戴本區(qū)域的工作服裝，按凈化工程程序進(jìn)入無塵車間。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數(shù)值。同時，空氣的流向也必須要有控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因?yàn)樵诹魍窂街杏姓系K物的話，容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域，使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內(nèi)，而一部分會附著在周邊機(jī)器設(shè)備的表面而引起污染。

控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。

為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無塵室內(nèi)會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進(jìn)行除電。

無塵車間的設(shè)計規(guī)劃

動線規(guī)劃要點(diǎn)：要檢討分析人車路徑、配管系統(tǒng)、排氣管道、原料搬運(yùn)和作業(yè)的流程等，盡量縮短動線，并避免交叉，以防止交叉污染。作業(yè)者、化學(xué)藥品、材料等動線勿集中；無塵車間四周，宜設(shè)緩沖區(qū)；制造裝置的出入，不要對作業(yè)產(chǎn)生大影響。