施工要點(diǎn)

潔凈圍護(hù)結(jié)構(gòu)的安裝是在技術(shù)夾層內(nèi)的各種主管安裝完畢，然后對室內(nèi)地墻、空間進(jìn)行一次徹底清掃，達(dá)到無積塵后進(jìn)行施工，并在施工過程中零部件和場地做到專人清掃。

  a.施工前首先熟悉二次設(shè)計(jì)圖，完成現(xiàn)場勘測，對原土建房間的誤差做到心中有數(shù)。吊掛等與主體結(jié)構(gòu)和地面的連接件的固定應(yīng)嚴(yán)格按二次設(shè)計(jì)圖要求進(jìn)行。

b.根據(jù)現(xiàn)場具體情況及凈化系統(tǒng)的組成、有步驟有計(jì)劃的施工，使各工種的施工有機(jī)的結(jié)合，以加快 施工進(jìn)度。

設(shè)備要具有足夠的剛度，塔設(shè)備中的塔板、受外壓的容器殼體、端蓋等都要滿足剛度要求；凈化車間設(shè)備的主體部分和其他零件，都要由足夠的強(qiáng)度（strength)，以保證生產(chǎn)(Produce)和人生安全，一般在設(shè)計(jì)時(shí)常將各零件做成等強(qiáng)度，這樣節(jié)省(spare)材料，但有時(shí)也有意識地將某一零件的承載能力設(shè)計(jì)得低一些，當(dāng)過載時(shí)這個(gè)零件首先破壞而使整個(gè)設(shè)備不受損壞。凈化車間是指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計(jì)施工過程即可稱為凈化工程。

凈化車間屬于人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級數(shù)的快速成長，也增加了對制造環(huán)境(凈化車間)潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1 微米.也可能阻礙產(chǎn)品的制作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí)，就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。所以凈化車間為集成電路制造必不能少的因素。

第二個(gè)假設(shè)為：若火災(zāi)發(fā)生于下層回風(fēng)區(qū)中，則上升的會(huì)蓄積于下層回風(fēng)區(qū)的上部，讓由排氣風(fēng)管打開的閘門抽走。然而上述兩種假設(shè)在現(xiàn)實(shí)狀況中皆很難成立，因?yàn)閺膬艋囬g天花板下吹的垂直層流速度在0.25-0.5 m/s 左右，而火災(zāi)的熱釋放率只要大于3kW，的向上速度就會(huì)大于0.5 m/s，然后會(huì)在上方蓄積形成蓄煙層，此時(shí)從凈化車間天花板下吹的氣流只會(huì)造成更迅速的擴(kuò)散，產(chǎn)生更大的危害。