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發(fā)布時間:2021-01-12 12:00  
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PLD 主要選件
離子輔助沉積 (IBAD)系統(tǒng)介紹
離子輔助沉積已經(jīng)成為在無規(guī)取向的基片或無定形基片上沉積雙軸結(jié)構(gòu)薄膜的一種重要技術。Neocera 開發(fā)了離子輔助的PLD 系統(tǒng),該系統(tǒng)將PLD 在沉積復雜材料方面的優(yōu)勢與IBAD 能力結(jié)合在一起。
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脈沖激光沉積的原理
脈沖激光沉積原理:在真空環(huán)境下利用脈沖激光對靶材表面進行轟擊,利用激光產(chǎn)生的局域熱量將靶材物質(zhì)轟擊出來,再沉積在不同的襯底上,從而形成薄膜。
脈沖激光沉積技術適合做的薄膜包括各種多元氧化物,氮化物,硫化物薄膜,金屬薄膜,磁性材料等。
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