雙工位氦檢漏系統(tǒng)構成

（1）粗抽機組：一般采用旋片泵或者滑閥泵作為粗抽真空使用，獲得從一個大氣壓到千帕級真空，并為后續(xù)精抽真空作準備。

（2）精抽機組：一般采用羅茨泵作為精抽真空使用，獲得檢漏要求的真空，一般為5Pa左右。

（3）檢漏儀：是檢漏系統(tǒng)中的部件，檢漏儀執(zhí)行檢漏工作時，給出工件泄露量大小，并判斷工件是否合格，輸出控制信號。

（4）耐壓測試單元：通過向工件內(nèi)充注高壓氣體，一方面測試工件的耐壓性能。另一方面通過平衡、保壓過程，有傳感器感測壓力差，并由控制系統(tǒng)經(jīng)過計算分析判斷是否有大漏。

（5）工件抽空單元：為保證氦氣有循環(huán)過程中氦氣的純度，在向工件充注氦氣之前，抽出工件內(nèi)的空氣。

采用真空壓力法檢漏時，需要將被檢產(chǎn)品整體放入真空密封室內(nèi)，真空密封室與輔助抽空系統(tǒng)和檢漏儀相連，被檢產(chǎn)品的充氣接口通過連接管道引出真空密封室后，再與氦氣源相連，當被檢產(chǎn)品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進入真空密封室，再進入氦質譜檢漏儀，從而實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測量。

真空壓力法的優(yōu)點是檢測靈敏度高，能實現(xiàn)任何工作壓力的漏率檢測，反映被檢件的真實泄漏狀態(tài)。

真空壓力法的缺點是檢漏系統(tǒng)復雜，需要根據(jù)被檢產(chǎn)品的容積和形狀設計真空密封室。這里需要說明在檢漏過程要求確保充氣管道接口無泄漏，或者采取特殊的結構設計將所有充氣管道連接接口放置在真空密封室外部。

真空壓力法的檢測主要應用于結構簡單、壓力不是特別高的密封產(chǎn)品，如電磁閥、高壓充氣管道、推進劑貯箱、天線、應答機、整星產(chǎn)品等

汽機真空系統(tǒng)檢漏方法

氦質譜檢漏檢漏：鏈接氦質譜儀器的分析器在凝汽器的真空泵一端，之后拿著氦氣噴，噴遍所有的可以漏點，同時保持和分析儀器端點的人員聯(lián)系，如果端點接收到氦氣，說明噴附近有漏點，再反復查找，爭取確定吸空的泄漏點。缺點是，由于氦氣易揮發(fā)，特別是迅速上漂到一大片面積。難以定為漏點。對于死角難以攀登噴氣。類似的方法還有鹵素法等。

氦質譜檢漏，不適用于空冷島檢漏?？绽鋶u的露天傾斜結構，使得氦氣瞬間揮發(fā)掉，特別是遇到有風的天氣。