什么是流量控制器

質(zhì)量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。而今，當再有液態(tài)氨進入到質(zhì)量流量計或質(zhì)量流量控制器內(nèi)部時，只需簡單地用高壓氨氣沖洗管路后進行消毒即可。冶金，制藥等。特點：精度高，重復性好。

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流量控制器特點

1、 穩(wěn)定的流量供給，不受溫度、壓力變化

2、 寬量程比，可達100：1

3、 高達0.1%的重復性和1.0級的精度等級

4、 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

5、 內(nèi)置70余種氣體，觸屏式直接操作切換，無需重新校準

6、 標配三種顯示方式：數(shù)字、模擬和本地面板

流量控制器的性能特點

可按設計或?qū)嶋H要求設定流量，能自動消除系 統(tǒng)的壓差波動，保持流量不變。

克服系統(tǒng)冷熱不均現(xiàn)象，提高供熱(供冷)質(zhì)量。

完全解決近端壓差大，遠端壓差小的矛盾。

減少系統(tǒng)循環(huán)水量，降低系統(tǒng)阻力。

減少設計工作量，不需要對管網(wǎng)進行繁瑣的水力平衡計算。

降低調(diào)網(wǎng)難度，把復雜的調(diào)網(wǎng)工作簡化為簡單的流量分配。

免除多熱源管網(wǎng)熱源切換時的流量再分配工作。

流量顯示值均為測試臺上隨機標定，流量(m3/h) 。

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流量控制器的穩(wěn)定控制時間

由于到達設定值后控制器可能會發(fā)生超調(diào)，所以通常制造商用到達設定值且穩(wěn)定后所需要的時間作為設備響應速度，并賦予波形振蕩幅度一個容許范圍。舉個例子， 容許范圍2%表示流量波動在設定值的2%以內(nèi)即為穩(wěn)定。一般質(zhì)量流量控制器的精度在0.5%~2%之間，但一些制造商卻將穩(wěn)定容許范圍擴大到10%。怕在使用強腐蝕性、有毒等危害性氣體時不按安全規(guī)則操作,有可能造成產(chǎn)品損壞和其它更嚴重的損失。我們認為如果用戶要將流量控制在期望的設定值，那么其穩(wěn)定容許范圍也必須落在設備精度范圍內(nèi)。如下面示波器截屏圖所示，控制器在27.6毫秒時到達了與設備精度(滿量程的1%)等同的穩(wěn)定容許范圍。