常用的光學(xué)鍍膜有哪些？

干涉濾光片

是種類多、結(jié)構(gòu)復(fù)雜的一類光學(xué)薄膜。它的主要功能是分割光譜帶。常見的干涉濾光片是截止濾光片和帶通濾光片。截止濾光片可以把所考慮的光譜區(qū)分成兩部分，一部分不允許光通過（稱為截止區(qū)），另一部分要求光充分通過（稱為帶通區(qū)）。按照通帶在光譜區(qū)的位置又可分為長波通和短波通二種，它們簡單的結(jié)構(gòu)分別為，這里H、L分別表示厚的高、低折射率層，m為周期數(shù)。具有以上結(jié)構(gòu)的膜系稱為對稱周期膜系。如果所考慮的光譜區(qū)很寬或通帶透過率的波紋要求很高，膜系結(jié)構(gòu)會(huì)更加復(fù)雜。

帶通濾光片只允許光譜帶中的一段通過，而其他部分全部被濾掉,按照它們結(jié)構(gòu)的不同可分為法布里-珀羅型濾光片、多腔濾光片和誘增透濾光片。

光學(xué)薄膜的結(jié)構(gòu)與法－珀標(biāo)準(zhǔn)具相同，因?yàn)橛伤@得的透過光譜帶都比較窄，所以又叫窄帶干涉濾光片。這種濾光片的透過率對薄膜的損耗非常敏感，所以制備透過率很高、半寬度又很窄的濾光片是很困難的。多腔濾光片又叫矩形濾光片，它可以做窄帶帶通濾光片，又可以做寬帶帶通濾光片，制備波區(qū)較寬，透過率高，波紋小的多腔濾光片同樣是困難的。

誘增透濾光片是在金屬膜兩邊匹配以適當(dāng)?shù)碾娊橘|(zhì)膜系，以增加勢透過率，減少反射，使通帶透過率增加的一類濾光片。雖然它的通帶性能不如全電介質(zhì)法－珀濾光片,卻有著很寬的截止特性,所以還是有很大的應(yīng)用價(jià)值。特別在紫外區(qū)，一般電介質(zhì)材料吸收都比較大的情況下,它的優(yōu)越性就更明顯了。圖3的a、b、c分別給出法布里-珀羅型濾光片、多腔濾光片和誘增透濾光片的典型曲線。

多功能鍍膜設(shè)備及鍍膜方法與流程

現(xiàn)在，真空鍍膜機(jī)是用于外表處理PVD膜層的專用設(shè)備，包含真空磁控濺射鍍膜機(jī)、真空蒸騰鍍膜機(jī)、真空多弧離子鍍膜機(jī)等，真空磁控濺射鍍膜機(jī)可在低溫狀態(tài)下進(jìn)行非金屬資料進(jìn)行鍍膜，真空蒸騰鍍膜機(jī)和真空多弧離子鍍膜機(jī)歸于高溫鍍膜，適用于金屬資料鍍膜。

每種鍍膜機(jī)都有各自特色和使用范圍約束，如需鍍制多種不同膜層以及進(jìn)行金屬和非金屬資料的鍍膜，需求置辦上述多種真空鍍膜機(jī)，存在設(shè)備出資大的缺陷。

為了處理上述問題，供給一種多功能鍍膜設(shè)備及鍍膜辦法。手套箱蒸鍍一體機(jī)，本體系由真空鍍膜體系和手套箱體系集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完結(jié)薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體空氣下進(jìn)行樣品的寄存、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。首要用于太陽能電池鈣鈦礦、OLED和PLED、半導(dǎo)體制備等試驗(yàn)研討與使用。

蒸騰鍍膜與手套箱組合，完成蒸鍍、封裝、測驗(yàn)等工藝全封閉制造，使整個(gè)薄膜成長和器材制備進(jìn)程高度集成在一個(gè)完好的可控環(huán)境空氣的體系中，消除有機(jī)大面積電路制備進(jìn)程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定要素影響，保證了、大面積有機(jī)光電器材和電路的制備。

光學(xué)鍍膜的作用介紹

光學(xué)鍍膜由薄膜層組合制作而成，它產(chǎn)生干擾效應(yīng)來提高光學(xué)系統(tǒng)內(nèi)的透射率或反射性能。光學(xué)鍍膜的性能取決于層數(shù)、個(gè)別層的厚度和不同的層接口折射率。用于精密光學(xué)的常見鍍膜類型：增透膜(AR)、高反射（鏡）膜、分光鏡膜和過濾光片膜。增透膜包括在高折射率的光學(xué)中并用于化光通量和降低鬼影。高反射膜的設(shè)計(jì)可在單個(gè)波長或范圍廣泛的整個(gè)波長以反射。分光鏡膜用于將入射光分為已知的透射光和反射光輸出。濾光片應(yīng)用于大量的工業(yè)應(yīng)用中，并以特定波長用于透射、反射、吸收或衰減光。愛特蒙特光學(xué)還可以提供各種定制鍍膜滿足任何應(yīng)用程序需要。

光學(xué)鍍膜經(jīng)過精心設(shè)計(jì)用于特定的入射光角和特定的偏振光，例如S偏振光、P偏振光或隨機(jī)偏振光等。如果鍍膜設(shè)計(jì)的入射光角為0°，但使用時(shí)的入射光角為45°，則鍍膜將不會(huì)以規(guī)定的透射率/反射規(guī)格執(zhí)行。同樣地，鍍膜一般設(shè)計(jì)用于隨機(jī)偏振光，因此在設(shè)計(jì)用于隨機(jī)偏振光的鍍膜上使用S偏振光或P偏振光將會(huì)再次產(chǎn)生無效的規(guī)格。

光學(xué)鍍膜是由沉積電介質(zhì)和金屬材料制作而成，例如薄層中的Ta2O5和/或Al2O3，在應(yīng)用中使用的光波長通常是四分之一波長光學(xué)厚度(QWOT)或半波光學(xué)厚度(HWOT)。這些薄膜由高折射率和低折射率層交替而成，從而誘發(fā)需要的干擾效應(yīng)。請參閱圖1有關(guān)寬帶增透膜設(shè)計(jì)的樣品說明。