光學(xué)微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。

無(wú)塵車間/潔凈室的目的如下：功能一：過(guò)濾循環(huán)空氣建議無(wú)塵環(huán)境， 功能二：調(diào)節(jié)空氣建立恒溫恒濕環(huán)境。 功能三，建立正壓環(huán)境避免外氣污染

光學(xué)微電子凈化工程一般包括：

1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)

 2、 潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）

3、 管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息等）

4、 設(shè)備區(qū)（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房）

光學(xué)微電子凈化工程凈化原理

氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒→ 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過(guò)程，即可達(dá)到凈化目的。

無(wú)塵電子車間空氣凈化的主要目的是除去空氣中的懸浮塵埃微粒，創(chuàng)造一個(gè)潔凈的工作環(huán)境，保證產(chǎn)品的高質(zhì)量，，高純度和高成品率。4、設(shè)計(jì)方案要確定設(shè)計(jì)方案，必須先對(duì)房間的工作性質(zhì)以及其中的氣流條件進(jìn)行認(rèn)真的考慮，發(fā)塵量大的車間不宜采用地面送風(fēng)形式，潔凈度要求高的車間應(yīng)盡可能遠(yuǎn)離其它車間。隨著生活水平的提高，人們對(duì)質(zhì)量的要求越來(lái)越高，所以如何保持、提高潔凈室的潔凈度問(wèn)題，是無(wú)塵電子車間需要考慮的一個(gè)重要問(wèn)題。