光波超精密——光柵空氣導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)形式

平面封閉型導(dǎo)軌：這種形式的導(dǎo)軌，由于工作臺(tái)導(dǎo)軌面變形較小，可以達(dá)到高精度，高剛性，大載荷的要求，zui適合用作精密加工機(jī)床和測量儀器等設(shè)備的長導(dǎo)軌。

重量平衡式導(dǎo)軌：此結(jié)構(gòu)導(dǎo)軌的圓度、圓筒度和導(dǎo)孔間距等精度完全由機(jī)械加工確定，全部載荷由導(dǎo)柱承擔(dān)，易發(fā)生變形，故除垂直導(dǎo)軌外，多用于輕載荷、短導(dǎo)軌。

真空負(fù)壓平衡式導(dǎo)軌：該導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡單，易于加工。但軸承剛度較低，適合負(fù)荷變化小的場合。

光波超精密——光柵空氣導(dǎo)軌

真空負(fù)壓平衡式導(dǎo)軌：該導(dǎo)軌與重量平衡式導(dǎo)軌是同一種類型，適用于工作臺(tái)重量輕或不能加重的情況下，在保持真空負(fù)壓和靜壓的同時(shí)，由固定的導(dǎo)軌間隙維持。

線性導(dǎo)軌主要有以下幾種類型

一、滑動(dòng)(動(dòng)壓力)導(dǎo)向器。

二是靜壓導(dǎo)軌，根據(jù)流體的不同，可分為：空氣靜壓導(dǎo)軌(氣浮導(dǎo)軌)和液體靜壓導(dǎo)軌。

三、滾動(dòng)導(dǎo)軌，因滾動(dòng)體不同而分為滾珠導(dǎo)軌和滾柱導(dǎo)軌。

四、磁浮軌道

幾何精度和導(dǎo)向精度是直線導(dǎo)軌各項(xiàng)精度指標(biāo)中比較重要的兩項(xiàng)。

光波超精密技術(shù)研究院——光柵空氣導(dǎo)軌

空氣靜壓導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)部件和支撐部件通過氣膜彼此隔離，當(dāng)壓縮空氣從氣浮板和支撐表面之間的空隙中排出時(shí)就形成了氣膜。這種氣浮墊通常在一組導(dǎo)軌中放置幾個(gè)。圖1為普通氣浮墊片工作原理圖。潔凈、干燥、恒壓的壓縮空氣從氣源向外通過節(jié)流器進(jìn)入氣腔，沿封氣朝向外流動(dòng)，在封氣面和承導(dǎo)面之間形成有承載能力的氣膜。在密封面處，氣腔承載力之和將氣浮墊和與其連接的平臺(tái)浮起。工況下承載力與載荷處于平衡狀態(tài)，從而產(chǎn)生空氣摩擦。負(fù)荷增大時(shí)，氣膜厚度降低，而負(fù)荷增大時(shí)，氣膜厚度增加；氣膜既起承壓作用，又起潤滑作用。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——光柵空氣導(dǎo)軌

大尺寸精密花崗石氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)作為標(biāo)準(zhǔn)基準(zhǔn)工作平臺(tái)，主要用于大尺寸測量設(shè)備的示值校準(zhǔn)。通過拓展（安裝長度基準(zhǔn)器激光或光柵）常應(yīng)用于大尺寸測量設(shè)備（如：激光跟蹤儀）的距離示值校準(zhǔn)、空間尺寸測量示值校準(zhǔn)、動(dòng)態(tài)示值校準(zhǔn)；激光準(zhǔn)直儀的準(zhǔn)直精度調(diào)試及校準(zhǔn)；手持式激光掃描儀、激光測距儀的定位精度校準(zhǔn)；通過安裝影像系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)線紋尺、鋼卷尺等測量儀器和設(shè)備的測試與校準(zhǔn)等。

大理石氣浮導(dǎo)軌對(duì)材料的要求

大理石氣浮導(dǎo)軌的制作采用了是空氣靜壓zhou軸承技術(shù),因此它具有軸/徑向跳動(dòng)小、重復(fù)定位精度高、加載驅(qū)動(dòng)力小、能在高轉(zhuǎn)速下平穩(wěn)工作等特性.為了保證氣浮導(dǎo)軌具備這些性能,在選用制作材料時(shí)要求它具有以下特征:

1.導(dǎo)熱性要好,隨時(shí)間及空間改變,溫度隨之改變進(jìn)而造成構(gòu)件內(nèi)部的溫度梯度,引起機(jī)器結(jié)構(gòu)的扭轉(zhuǎn)和彎曲;

2.熱膨脹系數(shù)要小,避免在溫度-變化下產(chǎn)生過大的伸長縮短;

3.要具有比較大的彈性,避免花崗石氣浮導(dǎo)軌在受力后出現(xiàn)較大的變形;

4.要有著較高的硬度及耐研磨性,保證在加工及使用中都不會(huì)輕易劃傷、磨損;

5.具有較高的強(qiáng)度,在①定的力量范圍內(nèi)不易斷裂;

6.對(duì)于運(yùn)動(dòng)部分的材料,在密度上要小,保證由于測量機(jī)的高速、高加速運(yùn)動(dòng)而產(chǎn)生的測量機(jī)慣性力不會(huì)造成損傷;

7.考慮材料吸水率小,以免受潮變形(質(zhì)量差的花崗石,由于吸水,足以引起微米級(jí)的變形);

8.工藝性好,易于加工,成本要低.

作為超精密測量、超精密加工和半導(dǎo)體光刻等領(lǐng)域的重要應(yīng)用,花崗石氣浮導(dǎo)軌的材料具備上述性能才能在使用中正常發(fā)揮作用.