光波超精密——光柵空氣導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)形式

平面封閉型導(dǎo)軌：這種形式的導(dǎo)軌，由于工作臺導(dǎo)軌面變形較小，可以達到高精度，高剛性，大載荷的要求，zui適合用作精密加工機床和測量儀器等設(shè)備的長導(dǎo)軌。

重量平衡式導(dǎo)軌：此結(jié)構(gòu)導(dǎo)軌的圓度、圓筒度和導(dǎo)孔間距等精度完全由機械加工確定，全部載荷由導(dǎo)柱承擔，易發(fā)生變形，故除垂直導(dǎo)軌外，多用于輕載荷、短導(dǎo)軌。

真空負壓平衡式導(dǎo)軌：該導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡單，易于加工。但軸承剛度較低，適合負荷變化小的場合。

光波超精密——光柵空氣導(dǎo)軌

真空負壓平衡式導(dǎo)軌：該導(dǎo)軌與重量平衡式導(dǎo)軌是同一種類型，適用于工作臺重量輕或不能加重的情況下，在保持真空負壓和靜壓的同時，由固定的導(dǎo)軌間隙維持。

線性導(dǎo)軌主要有以下幾種類型

一、滑動(動壓力)導(dǎo)向器。

二是靜壓導(dǎo)軌，根據(jù)流體的不同，可分為：空氣靜壓導(dǎo)軌(氣浮導(dǎo)軌)和液體靜壓導(dǎo)軌。

三、滾動導(dǎo)軌，因滾動體不同而分為滾珠導(dǎo)軌和滾柱導(dǎo)軌。

四、磁浮軌道

幾何精度和導(dǎo)向精度是直線導(dǎo)軌各項精度指標中比較重要的兩項。

光波超精密技術(shù)研究院——光柵空氣導(dǎo)軌

空氣靜壓導(dǎo)軌的運動部件和支撐部件通過氣膜彼此隔離，當壓縮空氣從氣浮板和支撐表面之間的空隙中排出時就形成了氣膜。這種氣浮墊通常在一組導(dǎo)軌中放置幾個。圖1為普通氣浮墊片工作原理圖。潔凈、干燥、恒壓的壓縮空氣從氣源向外通過節(jié)流器進入氣腔，沿封氣朝向外流動，在封氣面和承導(dǎo)面之間形成有承載能力的氣膜。在密封面處，氣腔承載力之和將氣浮墊和與其連接的平臺浮起。工況下承載力與載荷處于平衡狀態(tài)，從而產(chǎn)生空氣摩擦。負荷增大時，氣膜厚度降低，而負荷增大時，氣膜厚度增加；氣膜既起承壓作用，又起潤滑作用。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——光柵空氣導(dǎo)軌

大尺寸精密花崗石氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)作為標準基準工作平臺，主要用于大尺寸測量設(shè)備的示值校準。通過拓展（安裝長度基準器激光或光柵）常應(yīng)用于大尺寸測量設(shè)備（如：激光跟蹤儀）的距離示值校準、空間尺寸測量示值校準、動態(tài)示值校準；激光準直儀的準直精度調(diào)試及校準；手持式激光掃描儀、激光測距儀的定位精度校準；通過安裝影像系統(tǒng)可以實現(xiàn)線紋尺、鋼卷尺等測量儀器和設(shè)備的測試與校準等。

大理石氣浮導(dǎo)軌對材料的要求

大理石氣浮導(dǎo)軌的制作采用了是空氣靜壓zhou軸承技術(shù),因此它具有軸/徑向跳動小、重復(fù)定位精度高、加載驅(qū)動力小、能在高轉(zhuǎn)速下平穩(wěn)工作等特性.為了保證氣浮導(dǎo)軌具備這些性能,在選用制作材料時要求它具有以下特征:

1.導(dǎo)熱性要好,隨時間及空間改變,溫度隨之改變進而造成構(gòu)件內(nèi)部的溫度梯度,引起機器結(jié)構(gòu)的扭轉(zhuǎn)和彎曲;

2.熱膨脹系數(shù)要小,避免在溫度-變化下產(chǎn)生過大的伸長縮短;

3.要具有比較大的彈性,避免花崗石氣浮導(dǎo)軌在受力后出現(xiàn)較大的變形;

4.要有著較高的硬度及耐研磨性,保證在加工及使用中都不會輕易劃傷、磨損;

5.具有較高的強度,在①定的力量范圍內(nèi)不易斷裂;

6.對于運動部分的材料,在密度上要小,保證由于測量機的高速、高加速運動而產(chǎn)生的測量機慣性力不會造成損傷;

7.考慮材料吸水率小,以免受潮變形(質(zhì)量差的花崗石,由于吸水,足以引起微米級的變形);

8.工藝性好,易于加工,成本要低.

作為超精密測量、超精密加工和半導(dǎo)體光刻等領(lǐng)域的重要應(yīng)用,花崗石氣浮導(dǎo)軌的材料具備上述性能才能在使用中正常發(fā)揮作用.