隨著超精密加工和微電子制造技術(shù)的迅速發(fā)展，對精密測量技術(shù)及儀器提出了在毫米級的測量范圍內(nèi)達(dá)到納米級精度的要求，例如超精密數(shù)控加工精度已達(dá)納米量級，微電子芯片制造技術(shù)已是納米級制造工藝，因此無論是超精密數(shù)控機(jī)床的運(yùn)動測量與定位，還是集成電路芯片線寬等特征尺寸測量、光掩膜制作以及晶圓掃描工作臺的運(yùn)動測量與定位，均需要納米級精度的精密測量儀器。隨著近幾年世界經(jīng)濟(jì)格局的變化和我國經(jīng)濟(jì)技術(shù)高速發(fā)展的趨勢，我國的機(jī)械科學(xué)和制造系統(tǒng)也發(fā)生了新的變革。此外，精密測試計(jì)量技術(shù)領(lǐng)域中，各種掃描探針顯微鏡、激光干涉儀、光柵尺和其他位移傳感器等也離不開納米級精度的精密測量儀器的校準(zhǔn)或標(biāo)定。