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納米級(jí)位移測(cè)量?jī)?yōu)惠報(bào)價(jià)【善測(cè)】

發(fā)布時(shí)間:2020-12-31 10:09  

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多軸聯(lián)動(dòng)數(shù)控系統(tǒng) 的精度主要從單個(gè)伺服 軸的運(yùn)動(dòng)控制精度和聯(lián) 動(dòng)軸耦合輪廓精度 2 方 面來(lái)評(píng)價(jià)。對(duì)于單個(gè)伺服軸的運(yùn)動(dòng) 控制,當(dāng)要求的運(yùn)動(dòng)精度達(dá)到納米級(jí) 時(shí),傳統(tǒng)的超精密機(jī)床傳動(dòng)方式在 低速、微動(dòng)狀態(tài)下表現(xiàn)出強(qiáng)非線性特 性,常規(guī)的運(yùn)動(dòng)控制策略已經(jīng)很難保 證伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)理想的納米級(jí)隨動(dòng) 精度。利用大小、表面標(biāo)志物對(duì)外泌體進(jìn)行分選是外泌體生物學(xué)研究的一個(gè)相當(dāng)大的挑戰(zhàn)。

此外,多軸聯(lián)動(dòng)系統(tǒng)的輪廓誤差 由各伺服軸的運(yùn)動(dòng)誤差耦合得到, 耦 合誤差的建模及各軸相應(yīng)的補(bǔ)償控制量的計(jì)算都需要大量的齊次坐標(biāo) 變換運(yùn)算,這為實(shí)際的多軸聯(lián)動(dòng)耦合 控制器的設(shè)計(jì)帶來(lái)了很大的不便。②發(fā)明了基于該原理實(shí)現(xiàn)高精度(納米級(jí))大范圍(毫米量程)位移測(cè)量的新方法。 智能控制理論與方法將可能為此問(wèn) 題提供理想的解決方法。此外,要實(shí) 現(xiàn)多軸聯(lián)動(dòng)納米級(jí)輪廓控制精度, 還 有一個(gè)不可忽視的問(wèn)題,即聯(lián)動(dòng)軸的 同步問(wèn)題。同步精度的高低直接影 響到系統(tǒng)的輪廓跟蹤精度。嚴(yán)格意 義上的多軸伺服系統(tǒng)同步涉及到復(fù) 雜的數(shù)控和伺服系統(tǒng)接口規(guī)范的制 定。目前,在可以實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)加工 的高ji多軸聯(lián)動(dòng)超精密數(shù)控機(jī)床研 制方面,我國(guó)尚未取得突破性進(jìn)展。 至于可實(shí)現(xiàn)大型復(fù)雜曲面,特別是自 由曲面的納米級(jí)超精密加工的五軸 聯(lián)動(dòng)機(jī)床,至今仍是一個(gè)世界上尚未 解決的難題。