（5）等離子法

等離子法利用等離子廢氣處理設備中的介質阻擋放電過程中，等離子體內部產(chǎn)生富含較高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發(fā)生反應，轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。

適用條件：適用范圍廣，凈化，尤其適用于其它方法難以處理的多組分惡臭氣體。電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。

優(yōu)點：運行費用低，反應快，設備啟動、停止十分迅速，隨用隨開。缺點：一次性投資較高、安全隱患。

3）：廢氣流經(jīng)蓄熱室1升溫后進入氧化室焚燒，成為凈化后的高溫氣體后離開氧化室，進入在上一循環(huán)已冷卻的蓄熱室2。在此氣體釋放熱量，降溫后排出，而蓄熱室2吸收大量熱量后升溫，其吸收的熱量用于下一個循環(huán)加熱廢氣。在此同時，廢氣引風機經(jīng)由反吹風管，從蓄熱室3抽出少許前一循環(huán)殘留在其中的微量有機氣體，回送至廢氣風機進口處，再送入燃燒室中進行焚燒，此部分氣體同處理后氣體一起離開蓄熱室2，經(jīng)熱回收設備排入大氣。

近年來，膜分離及催化氧化技術在處理工業(yè)廢氣方面?zhèn)涫荜P注！

1.膜分離法（Separation Membrane）

膜分離是近年發(fā)展起來的一種新興科技技術。膜分離是一種的分離方法，采用高分子膜對有機物進行選擇性滲透,在一定壓力下使VOCs滲透進而分離。

當VOCs氣體進入膜分離系統(tǒng)后,膜選擇性地讓VOCs氣體通過而被富集,脫除了有機廢氣，使之留在未滲透側,達標后,排出系統(tǒng)；富集了VOCs的氣體可進入冷凝回收系統(tǒng),進行回收。常用的VOCs回收膜有：玻璃膜和橡膠膜。常用的處理廢氣中VOCs的膜分離工藝包括蒸汽滲透、氣體膜分離和膜接觸器等。