電腐蝕機腐蝕的特性    1、工藝復(fù)雜要求較高，需對位密貼工件。    2、電蝕刻出來的邊角不夠平滑有毛刺麻點    3、深度達不到也不好掌控深淺。    4、質(zhì)量不可控，只有完全成型了之后才能判斷是否為良品，報廢率高。    5、表面附著一層黑色物質(zhì)難以清理，影響后期上色。    6、紋路圖案更換起來成本會比較高。    7、腐蝕時間太慢，產(chǎn)量低。蝕刻機可以分為化學(xué)蝕刻機及電解蝕刻機兩類。在化學(xué)蝕刻中是使用化學(xué)溶液，經(jīng)由化學(xué)反應(yīng)以達到蝕刻的目的，化學(xué)蝕刻機是將材料用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。




 刻蝕機目前國際上主要的供應(yīng)商為應(yīng)用材料、LamResearch等。中國方面技術(shù)有慢慢追上的趨勢，即將登錄科創(chuàng)板的中微半導(dǎo)體，其自主研發(fā)的5nm等離子體刻蝕機經(jīng)臺積電(2330-TW)驗證，將用于全球首條5nm制程生產(chǎn)線。而北方華創(chuàng)則是在14nm技術(shù)有所突破。市場預(yù)估今明兩年中國刻蝕機需求分別達15億美元與20億美元。    拋光：可以使晶圓表面達到性的平坦化，以利后續(xù)薄膜沉積工序。美國應(yīng)用材料、Rtec等均為國際上主要供應(yīng)商，中國則有中電科裝備、盛美半導(dǎo)體等。但陸廠的產(chǎn)品才剛打入8寸晶圓廠中，12寸的相關(guān)設(shè)備還在研發(fā)，明顯與國際大廠有實力上的差距。市場預(yù)計今明兩年中國拋光機需求將達3.77億美元與5.11億美元。

藥性減低的原因及還原方式

　　隨著化學(xué)反應(yīng)的進行，蝕刻液藥性降低，是因為三氯化鐵氧化成了氯化亞鐵，此時需要將氯化亞鐵還原成三氯化鐵增加藥液酸性。需加入水溶液(還原劑)﹑鹽酸()

　　2.還原反應(yīng)：2FeCl2 NaClO 2HCL﹦2FeCl3 NaCl H2O

　　氯化亞鐵 鹽酸=三氯化鐵 氯化鈉 水(由于亞鐵離子在水中極易水解而產(chǎn)生氫氧化亞鐵：FeCl2 H2O=,Fe(OH)2 HCL所以為了防止氯化亞鐵水解變質(zhì),常在氯化亞鐵溶液中添加一些鹽酸.)

　　3.由于鹽酸容易揮發(fā)，隨著化學(xué)反應(yīng)的進行，還會發(fā)生以下反應(yīng)：

　　6FeCl2 NaClo 3H2O=4FeCl3 2Fe(OH)3 ↓ NaCl

　　氯化亞鐵 水=三氯化鐵 氫氧化鐵(沉淀物) 氯化鈉

　　(其中氫氧化鐵為沉淀物，所以隨著化學(xué)反應(yīng)時間的加長，藥箱內(nèi)會出現(xiàn)粘稠狀物質(zhì)。除去該粘稠狀沉淀物，需采用物理過濾方式，如：過濾網(wǎng)過濾或凈水裝置)