國內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進(jìn)展很快，技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵，所達(dá)到的極限真空要比前級泵高一個(gè)數(shù)量級。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì)，實(shí)際上也是屬于干泵。根據(jù)泵輸送的介質(zhì)，將公用工程使用的普通水泵、熱水泵、凝水泵及廢水處理系統(tǒng)的泵與輸送藥液、中間體、純水、酸堿等工藝介質(zhì)的泵區(qū)分開來。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)l藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運(yùn)行的考驗(yàn)，所以應(yīng)該在國內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。

分子泵

分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。真空包裝行業(yè)的前景日趨廣闊，其中在食品領(lǐng)域的市場將更加龐大，因?yàn)殡S著新型真空包裝技術(shù)的不斷出現(xiàn)，使整個(gè)食品包裝行業(yè)呈現(xiàn)出更加統(tǒng)一的包裝趨勢。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。

為了避免羅茨泵的誤操作，一般多設(shè)有旁路溢流閥。根據(jù)對羅茨泵的特殊需要，也有將油的齒輪箱，軸承等部件與泵腔做成分離式結(jié)構(gòu)的。

在羅茨泵的壓縮過程中產(chǎn)生的熱量被傳到轉(zhuǎn)子和泵體上。轉(zhuǎn)子很難將熱量傳至泵外，而泵體的熱量很容易被散失到周圍大氣中。因而轉(zhuǎn)子與泵體之間就出現(xiàn)了溫差。加劇了轉(zhuǎn)子的熱膨脹。當(dāng)泵負(fù)荷增大時(shí)，轉(zhuǎn)子膨脹會消失間隙，而被卡死。因此出現(xiàn)了氣冷式羅

茨泵，用冷卻的氣體或大氣去直接冷卻熱態(tài)的轉(zhuǎn)子，從而減少了轉(zhuǎn)子與泵殼間的溫差，提高了羅茨泵的抗熱能力。