分離法的4種方法

主要有4種1.分離法：工業(yè)上，主要以含有氦的為原料，反復(fù)進(jìn)行液化分餾，然后利用活性炭進(jìn)行吸附提純，得到純氦。2.合成氨法：在合成氨中，從尾氣經(jīng)分離提純可得氦。3.空氣法：從液態(tài)空氣中用分餾法從氦混合氣中提出。4.鈾礦石法：將含氦的鈾礦石經(jīng)過(guò)焙燒，分離出氣體，再經(jīng)過(guò)化學(xué)方法，除去水蒸氣、氫氣和二氧化碳等雜質(zhì)提純出氦。

昂貴的液氦價(jià)格,使研究工作難以廣泛開(kāi)展

2007年，美國(guó)將氦氣核定為戰(zhàn)略物資而限制粗氦產(chǎn)量，導(dǎo)致全球液氦價(jià)格由原來(lái)60～80元/每升，上漲到目前200元/每升以上。昂貴的液氦價(jià)格，使研究工作難以廣泛開(kāi)展。研究人員預(yù)計(jì)，未來(lái)氦氣進(jìn)口將更加受制于人，屆時(shí)可能會(huì)因?yàn)闊o(wú)液氦供應(yīng)而使中國(guó)現(xiàn)有的許多涉及氦氣和液氦的科研項(xiàng)目無(wú)法實(shí)施。三種途徑解除氦危機(jī)直接的辦法就是節(jié)流?，F(xiàn)在醫(yī)院的儀很多自身帶有密閉性很好、防止蒸發(fā)的液氦裝置，大大減少了液氦的需求量，先前的一些耗費(fèi)液氦量大的儀器已經(jīng)逐漸被淘汰。

需求增速快以半導(dǎo)體行業(yè)為例

需求增速快以半導(dǎo)體行業(yè)為例，2015年全球半導(dǎo)體行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到3，960億美元，2011年至2015年的復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)到4.3%，未來(lái)五年，隨著數(shù)據(jù)處理、汽車電子、物聯(lián)網(wǎng)等行業(yè)的發(fā)展帶來(lái)更多的需求，半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)值預(yù)期增速會(huì)加快，到2020年達(dá)到5，080億美元，2015-2020符合增長(zhǎng)率達(dá)到5.1%。

氣相沉積氣體:含鹵化物及鹵碳化合物為主,如、三氟化氮(NF3

（3）蝕刻清洗氣體：以含鹵素的鹵化物及鹵碳化合物為主，如、三氟化氮（NF3）、（HBr）、四氟化碳（CF4）、六氟（C2F6）等。（4）反應(yīng)氣體：以碳系及氮系氧化物為主，如二氧化碳（CO2）、氨（NH3）、氧化亞氮（N2O）等。（5）金屬氣相沉積氣體：含鹵化金屬及有機(jī)烷類金屬，如六氟化鎢（WF6）、（Ga（CH3）3）等。