主動式掃描與多點觸測式測頭系統(tǒng)

掃描測量率高達500點/秒。

數(shù)據(jù)采集測力可調(diào)(50-1000mN)

ZEISS VAST XT gold：探針：長度=500mm，重量=500g（含吸盤），探針直徑=0.5mm。

ZEISS VAST gold：探針：=800mm，重=600g（含吸盤），探針直徑=0.3mm。

ZEISS VAST XTR gold：探針：長度（固定）=500mm，長度（旋轉(zhuǎn)）=350mm，重量=500g（含吸盤），探針直徑=0.5mm。

ZEISS DotScan

測量范圍 1 mm 2)

配備共聚焦白光測距傳感器，適用于ZEISS RDS-DCAA

掃描測量速率高達1000點/秒。

工作距離：10,5mm ,分辨率28nm

可測量平面與光束夾角范圍90°± 30°1) 光斑直徑 8 μm

測量范圍 3 mm 2)

工作距離：21,5mm ,分辨率36nm，

可測量平面與光束夾角范圍90°± 24° 1) 光斑直徑 9 μm

SPECTRUM的測頭系統(tǒng)可以通過兩個方向360度的自由旋轉(zhuǎn)和5度的步距角實現(xiàn)5184個空間角度位置的測量；并且其配備蔡司獨有的RDS-CAA技術(shù)，僅需一次校準，即可使用全部5184個角度位置，大大減少了探針校準時間，從而大幅提高了測量效率。值得一提的是，SPECTRUM擁有廣泛的應(yīng)用，如小型外殼、沖壓件、數(shù)控加工零件及塑料件的檢測，此外在和電子行業(yè)也可滿足差異化的檢測需求。