流量控制器的工作壓差范圍是個(gè)什么概念?

質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門, 閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程, 在工作的過程當(dāng)中, 控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于值(0.1 MPa), 有可能控制達(dá)不到滿量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%F.S。然而有些型號(hào)儀表對安裝姿勢具有敏感性，大部分制造廠會(huì)對此就安裝姿勢影響和安裝要求作出說明。用戶使用MFC時(shí), 無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓, 應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi), 并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。

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流量控制器

熱式質(zhì)量流量器的基本原理是利用外部熱源對管道內(nèi)的被測流體加熱，熱能隨流體一起流動(dòng)，通過測量因流體流動(dòng)而造成的熱量（溫度）變化來反映出流體的質(zhì)量流量。

當(dāng)流體成分確定時(shí)，流體的定壓比熱為已知常數(shù)。因此由上式可知，若保持加熱功率恒定，則測出溫差便可求出質(zhì)量流量；若采用恒定溫差法，即保持兩點(diǎn)溫差不變，則通過測量加熱的功率也可以求出質(zhì)量流量。由于恒定溫差法較為簡單、易實(shí)現(xiàn)，所以實(shí)際應(yīng)用較多。(2)測量控制的自動(dòng)化質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這種流量計(jì)多用于較大氣體流量的測量。

為避免測溫和加熱元件因與被測流體直接接觸而被流體玷污和腐蝕，可采用非接觸式測量方法，即將加熱器和測溫元件安裝在薄壁管外部，而流體由薄壁管內(nèi)部通過。非接觸式測量方法，適用于小口徑管道的微小流量測量。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度，加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個(gè)恒定的溫度差。當(dāng)用于大流量測量時(shí)，可采用分流的方法，即僅測量分流部分流量，再求得總流量，以擴(kuò)大量程范圍。

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越來越多的朋友對氣體質(zhì)量流量計(jì)﹑質(zhì)量流量控制器產(chǎn)生了濃厚的興趣。

質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。浸入式熱式質(zhì)量流量計(jì)可測量低~中偏高流速(氣體2~60m/s)，插入式熱式質(zhì)量流量計(jì)更適合于大管徑。