光波超精密——超精密氣浮導(dǎo)軌生產(chǎn)廠家

氣浮導(dǎo)軌的幾何精度包括：導(dǎo)軌在垂直面和水平面之間的直線度，導(dǎo)軌面之間的平行度，導(dǎo)軌間的垂直度；導(dǎo)軌導(dǎo)向精度是指運(yùn)動(dòng)部件運(yùn)動(dòng)軌跡與給定方向的偏差程度，主要取決于導(dǎo)軌本身的幾何精度和導(dǎo)軌配合間隙，其中配合間隙的大小主要取決于導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)類型、表面粗糙度、導(dǎo)軌剛度以及熱變形等因素。

影響導(dǎo)軌精度的主要因素如下：

導(dǎo)軌直線度：它對(duì)導(dǎo)軌面間平行度和導(dǎo)軌間垂直度均有直接影響

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導(dǎo)軌剛度：導(dǎo)軌受力將導(dǎo)致接觸變形、局部變形和自身變形。觸點(diǎn)變形是由于導(dǎo)軌面的微觀不均勻性引起的；局部變形通常發(fā)生在應(yīng)力集中的地方；導(dǎo)軌本身的變形是指導(dǎo)軌受外載后，整體變形，與導(dǎo)軌的材料、布置有關(guān)。

導(dǎo)軌表面粗糙度：主要由導(dǎo)軌材料、硬度及研磨工藝決定。

導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)形式：直接影響機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度以及其它精度指標(biāo)。

超精機(jī)靜壓氣浮導(dǎo)軌是由高精度的靜導(dǎo)軌、動(dòng)導(dǎo)軌和氣浮軸承等部件組成。高速高壓氣浮軸承在導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)時(shí)，在動(dòng)靜壓導(dǎo)軌之間排放有氣浮軸承，氣體流動(dòng)形成潤(rùn)滑膜，使動(dòng)靜壓導(dǎo)軌表面不直接接觸。氣浮導(dǎo)軌與液壓導(dǎo)軌相比，具有摩擦阻力小、不粘滯、運(yùn)動(dòng)精度高的特點(diǎn)，在超精密機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等高精密儀器設(shè)備中有著廣泛的應(yīng)用。當(dāng)氣浮軸承數(shù)確定，氣浮壓力、外荷載不變，動(dòng)導(dǎo)軌間隙氣膜厚度不變時(shí)，由于空氣移動(dòng)的粘度、動(dòng)導(dǎo)軌接觸面面積為定值，靜壓氣浮導(dǎo)軌所受的摩擦力與動(dòng)導(dǎo)軌的速度正相關(guān)。

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由于氣浮軸承將氣體排入導(dǎo)軌間隙，使其粘性力大于慣性力2，隨著機(jī)床加工精度測(cè)量?jī)x測(cè)量精度的不斷提高，導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度和速度也不斷提高，氣浮導(dǎo)軌明顯具有摩擦阻力小、無(wú)粘滯、運(yùn)動(dòng)精度高的特點(diǎn)，而在超精密機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等高精密儀器設(shè)備中，已廣泛應(yīng)用。

當(dāng)氣浮軸承數(shù)確定，氣浮壓力、外荷載不變，動(dòng)導(dǎo)軌間隙氣膜厚度不變時(shí)，由于空氣移動(dòng)的粘度、動(dòng)導(dǎo)軌接觸面面積為定值，靜壓氣浮導(dǎo)軌所受的摩擦力與動(dòng)導(dǎo)軌的速度正相關(guān)。進(jìn)入導(dǎo)軌間隙的氣體由氣浮軸承排出，其粘性力大于慣性力2，隨著機(jī)床加工精度測(cè)量?jī)x測(cè)量精度的不斷提高，導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度和運(yùn)動(dòng)速度也不斷提高，氣浮導(dǎo)軌的摩擦力將對(duì)超精密機(jī)床的定位精度、系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)速度產(chǎn)生不可忽視的影響3'。對(duì)超精密機(jī)床的定位精度和運(yùn)動(dòng)速度進(jìn)行研究，已成為當(dāng)前研究的熱點(diǎn)[4-6]。

開式靜壓導(dǎo)軌，有以下特性：

承受正載荷的能力很大，承受偏載和顛覆力的能力較差，無(wú)法承受反向載荷；(2)導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于制造和調(diào)整；

當(dāng)導(dǎo)軌尺寸確定后，氣腔壓力僅由載荷來(lái)決定，因此在載荷較小時(shí)，氣膜剛度較低。

總之，開式靜壓導(dǎo)軌適用于偏載和顛覆力矩小、載荷均勻、水平放置或只有小角度傾斜的場(chǎng)合。

閉式靜壓導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)部件，除了在其運(yùn)動(dòng)方向上有一個(gè)自由度外，其它運(yùn)動(dòng)自由度均受導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的限制，故屬于幾何閉合。

小孔節(jié)流器矩形空氣靜壓導(dǎo)軌采用俯視圖和剖面圖。壓力為導(dǎo)向器工作時(shí)，氣源氣流通過進(jìn)氣孔受到節(jié)流作用，氣體從進(jìn)氣孔流出后壓力下降，然后進(jìn)入承載氣膜，并向四周擴(kuò)散流動(dòng)，氣體壓力從承載板外邊界流出，下降到環(huán)境壓力，在承載板與工作臺(tái)面之間形成平均厚度為 h的氣膜。氣流形成一定的壓力場(chǎng)，使支撐板下部表面的氣膜支撐力與上方表面的環(huán)境大氣作用相差甚遠(yuǎn)，可獲得導(dǎo)軌的承載力。當(dāng)負(fù)荷一定時(shí)，氣動(dòng)靜壓導(dǎo)軌和軌道之間自動(dòng)保持相應(yīng)的氣膜厚度，使承載力和負(fù)荷平衡，終實(shí)現(xiàn)氣動(dòng)導(dǎo)軌的重量平衡。