目前已有大量的微型機(jī)械或微型系統(tǒng)被研究出來(lái)，例如：尖端直徑為5μm的微型鑷子可以?shī)A起一個(gè)紅血球，尺寸為7mm×7mm×2mm的微型泵流量可達(dá)250μl/min能開動(dòng)汽車，在磁場(chǎng)中飛行的機(jī)器蝴蝶，以及集微型速度計(jì)、微型陀螺和信號(hào)處理系統(tǒng)為一體的微型慣性組合(MIMU)。德國(guó)創(chuàng)造了LIGA工藝，制成了懸臂梁、執(zhí)行機(jī)構(gòu)以及微型泵、微型噴嘴、濕度、流量傳感器以及多種光學(xué)器件。美國(guó)加州理工學(xué)院在飛機(jī)翼面粘上相當(dāng)數(shù)量的1mm的微梁，控制其彎曲角度以影響飛機(jī)的空氣動(dòng)力學(xué)特性。美國(guó)大批量生產(chǎn)的硅加速度計(jì)把微型傳感器(機(jī)械部分)和集成電路(電信號(hào)源、放大器、信號(hào)處理和正檢正電路等)一起集成在硅片上3mm×3mm的范圍內(nèi)。日本研制的數(shù)厘米見方的微型車床可加工精度達(dá)1.5μm的微細(xì)軸。
為了保證加工精度，粗、精加工分開進(jìn)行。因?yàn)榇旨庸r(shí)，切削量大，工件所受切削力、夾緊力大，發(fā)熱量多，以及加工表面有較顯著的加工硬化現(xiàn)象，工件內(nèi)部存在著較大的內(nèi)應(yīng)力，如果粗、粗加工連續(xù)進(jìn)行，則精加工后的零件精度會(huì)因?yàn)閼?yīng)力的重新分布而很快喪失。對(duì)于某些加工精度要求高的零件。在粗加工之后和精加工之前，還應(yīng)安排低溫退火或時(shí)效處理工序來(lái)消除內(nèi)應(yīng)力。 　　(2)、合理地選用設(shè)備。粗加工主要是切掉大部分加工余量，并不要求有較高的加工精度，所以粗加工應(yīng)在功率較大、精度不太高的機(jī)床上進(jìn)行，精加工工序則要求用較高精度的機(jī)床加工。粗、精加工分別在不同的機(jī)床上加工，既能充分發(fā)揮設(shè)備能力，又能延長(zhǎng)精密機(jī)床的使用壽命。 　　(3)、在機(jī)械加工工藝路線中，常安排有熱處理工序。熱處理工序位置的安排如下：為改善金屬的切削加工性能，如退火、正火、調(diào)質(zhì)等，一般安排在機(jī)械加工前進(jìn)行。為消除內(nèi)應(yīng)力，如時(shí)效處理、調(diào)質(zhì)處理等，一般安排在粗加工之后，精加工之前進(jìn)行。為了提高零件的機(jī)械性能，如滲碳、淬火、回火等，一般安排在機(jī)械加工之后進(jìn)行。如熱處理后有較大的變形，還須安排最終加工工序。
在精密機(jī)械加工過(guò)程中會(huì)有用許多設(shè)備，下面列舉了一些常用的機(jī)械設(shè)備：如線切割、放電加工機(jī)、深孔放電加工機(jī)、CNC光學(xué)投影研磨、工具磨床、NC無(wú)芯磨床、平面磨床、內(nèi)徑外徑研磨、精密平面磨床、精密成形磨床、大水磨、NC銑床、磨床、加工中心、PVD鍍鈦機(jī)、激光焊接機(jī)、炭化水素清洗機(jī)、筒式研磨機(jī)、真空熱處理爐等等。
精密機(jī)械加工技術(shù)簡(jiǎn)介 1、精密機(jī)械加工技術(shù) 2、特種加工技術(shù) 精密機(jī)械加工技術(shù) 目前，精密加工是指加工精度為1~0.1μm，表面粗糙度為Ra0.1~0.01μm的加工技術(shù)，但這個(gè)界限是隨著加工技術(shù)的進(jìn)步不斷變化的，今天的精密加工可能就是明天的一般加工。 精密加工所要解決的問(wèn)題，一是加工精度，包括形位公差、尺寸精度及表面狀況，有時(shí)有無(wú)表面缺陷也是這一問(wèn)題的核心； 二是加工效率，有些加工可以取得較好的加工精度，卻難以取得高的加工效率。 精密加工應(yīng)該包括微細(xì)加工和超微細(xì)加工、光整加工等加工技術(shù)。 2 幾種常用的精密加工方法及特點(diǎn) 傳統(tǒng)的精密加工方法有布輪拋光、砂帶磨削、超精細(xì)切削、精細(xì)磨削、珩磨、研磨、超精研拋技術(shù)、磁粒光整等。