適用于各種材料的非接觸式三維表面分析NanoFocus測(cè)量系統(tǒng)能夠快速、有效地對(duì)幾乎所有材料——從金屬、玻璃、陶瓷、半導(dǎo)體、聚合物到有機(jī)材料——進(jìn)行三維表面分析。共焦技術(shù)能夠測(cè)量各種表面反射特性的材料并獲得有效的測(cè)量數(shù)據(jù)。采用NanoFocus技術(shù)的μsurf、μscan和μsprint能夠在生產(chǎn)和加工的不同階段對(duì)敏感表面進(jìn)行無損測(cè)量，透明涂層表面和層厚也可以同時(shí)測(cè)量。

無需樣品制備即可在幾秒鐘內(nèi)獲取真正的3D數(shù)據(jù)，進(jìn)而對(duì)表面進(jìn)行定性和定量的評(píng)估。NanoFocus為測(cè)量數(shù)據(jù)的分析提供了強(qiáng)大的綜合軟件解決方案以便確定相關(guān)參數(shù)。

全自動(dòng)影像測(cè)量?jī)x的使用環(huán)境： 1.避振如果影像測(cè)量?jī)x受到額外的周圍振動(dòng)，測(cè)量精度將會(huì)降低。當(dāng)頻率小于10Hz時(shí)，周圍振動(dòng)的振幅不應(yīng)該超過2μm（峰-峰差值）；當(dāng)頻率在10Hz到50Hz之間時(shí)，則加速度不應(yīng)超過0.4Gal。如果振動(dòng)超過這些限制，應(yīng)該采用防振措施（例如安裝振動(dòng)阻尼器）。2.無塵影像測(cè)量?jī)x構(gòu)成組件必須保證無灰塵。雖然防塵罩對(duì)影像測(cè)量?jī)x有一定的防護(hù)作用，但測(cè)量?jī)x仍應(yīng)定期清潔。3.電源使用90～264VAC，47-63Hz，10Amp下的穩(wěn)定電源，以確保儀器正常運(yùn)行。

 三維表面形貌儀是一款光學(xué)表面形貌儀,非常適合對(duì)表面幾何形狀和表面紋理分析，以標(biāo)準(zhǔn)方案或定制性方案對(duì)二維形貌或三維形貌表面形貌和表面紋理，微米和納米形狀，圓盤，圓度，球度，臺(tái)階高度，距離，面積，角度和體積進(jìn)行多范圍測(cè)量?；诟盗⑷~變換的空間過濾工具使得高通、低通、通頻帶和帶阻能濾波器變的容易。多項(xiàng)式配置、數(shù)據(jù)配置、掃描、屏蔽和插值。交互縮放。X-Y和線段剖面。三維線路、混合和固定繪圖。采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對(duì)樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高、高分辨率的三維測(cè)量，測(cè)量范圍可從納米級(jí)粗糙度到毫米級(jí)的表面形貌。