照‖明‖方‖式 透射照明 采用透過輪廓光觀察的方法，特別是觀察測量輪廓時使用，邊緣清晰易于觀察。 反射照明 綜合放大倍率 綜合放大倍率=目鏡倍率 x 物鏡倍率。 例：使用10x目鏡和100x物鏡組合時，觀察像的綜合放大倍率=10 x 100=1000x。 視場數F.N 指目鏡能否在廣視野下進行觀察的指標。F.N=Field Number 裝配1x物鏡時，通過目鏡觀察到的像的直徑為24mm 實視場 FOV 指通過目鏡觀察時實際觀察和觀察工件的實際范圍。FOV：Field Of View 透過物鏡與成像鏡頭的光在分劃板上（成像鏡頭焦點位置）成像， 觀察被目鏡放大后的像。

電子顯微鏡的成像方式是根據電子光學原理,用電子束和電子透鏡代

電子顯微鏡的成像方式是根據電子光學原理，用電子束和電子透鏡代替光束和光學透鏡，使物質的細微結構在非常高的放大倍數下成像的儀器。 透射電鏡通常采用熱陰極電子槍來獲得電子束作為照明源，熱陰極發(fā)射的電子，在陽極加速電壓的作用下，高速地穿過陽極孔，然后被聚光鏡會聚成具有一定直徑的束斑照到樣品上。 透過樣品的電子束強度，經過物鏡聚焦放大在其平面上形成一幅反映這些信息的透射電子像，經過中間鏡和投影鏡進一步放大。

SEM的優(yōu)點是,1有較高的放大倍數,2

SEM的優(yōu)點是，①有較高的放大倍數，2-20萬倍之間連續(xù)可調；②有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結構；③試樣制備簡單，導電樣品可以直接觀察。如果是非導電樣品則需要覆上導電層 目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時進行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析，因此它是當今十分有用的科學研究儀器。