液氬 - 用途

高純氬在半導(dǎo)體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護(hù)氣體；可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用惰性氣體；在化學(xué)氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應(yīng)用。

液氬的操作和儲(chǔ)存

操作處置注意事項(xiàng)：密閉操作，加強(qiáng)通風(fēng)，設(shè)有事故強(qiáng)制通風(fēng)設(shè)備，操作人員必須經(jīng)過專門培訓(xùn)。持證上崗，操作時(shí)嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。充裝時(shí)要控制充裝速度。充裝時(shí)間不少于30min。液氬泄漏嚴(yán)防傷。

液氬應(yīng)用

不銹鋼、鋁、鎂、銅、鎳、鈦、鉬及其合金的氬保護(hù)焊接，利用其惰性防止工件氧化、氮化，提高可焊性和焊接質(zhì)量。

液氬貯槽使用前的準(zhǔn)備工作

吹除處理：氣密性試驗(yàn)合格后，需要干燥無油的空氣對(duì)貯槽內(nèi)筒系統(tǒng)進(jìn)行吹除處理，用以去除潮濕空氣，系統(tǒng)在用干燥空氣或氮?dú)獯党螅€應(yīng)用產(chǎn)品氣體吹除，直到排除氣體純度打到要求為止。

液氬 - 制法

采用空氣分離提取氬，即將液化的空氣進(jìn)行精餾，得到粗氬，粗氬經(jīng)進(jìn)一步提純可得到高純氬。

液氬應(yīng)用

用來替代空氣或氮?dú)猓阡X的制造過程中產(chǎn)生惰性氣氛；在脫氣過程中幫助去除不需要的可溶氣體；以及去除熔鋁中溶解氫和其它顆粒。

液氬罐使用注意事項(xiàng)

結(jié)束時(shí)（下班）需要關(guān)緊有關(guān)閥門并放松調(diào)壓閥，確認(rèn)場(chǎng)地安全無火種后整理場(chǎng)地，保持整潔。

液氬貯槽使用前的準(zhǔn)備工作

吹除處理：氣密性試驗(yàn)合格后，需要干燥無油的空氣對(duì)貯槽內(nèi)筒系統(tǒng)進(jìn)行吹除處理，用以去除潮濕空氣，系統(tǒng)在用干燥空氣或氮?dú)獯党?，還應(yīng)用產(chǎn)品氣體吹除，直到排除氣體純度打到要求為止。