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發(fā)布時(shí)間:2020-12-26 03:55  
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鍍膜工藝流程中工藝參數(shù)的控制和對(duì)膜層沉積的影響:
鍍膜時(shí)間:膜層厚度隨鍍膜時(shí)間的增加而增加,但不是線形增加,當(dāng)厚度達(dá)到一定的時(shí)候,增加速度會(huì)變慢后基本停止,而且鍍膜時(shí)間越長(zhǎng)膜層應(yīng)力越大.外觀越差。
送氣方式和氣體流量:采用從少到多逐步增加氣體流量的方式加氣使膜層從金屬逐漸過(guò)渡到化合物是很好的一種加氣方式,如做黑膜這樣還可以延緩靶,使顏色做得更深。

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電子束蒸發(fā)源的優(yōu)點(diǎn)為:①電子束轟擊熱源的束流密度高,能獲得遠(yuǎn)比電阻加熱源更大的能量密度??梢允垢呷埸c(diǎn)(可高達(dá)3000°C以上)材料蒸發(fā),并且能有較高的蒸發(fā)速度;②由于被蒸發(fā)材料是置于水冷堆鍋內(nèi),因而可避免容器材料的蒸發(fā),以及容器材料與蒸鍍材料之間的反應(yīng),這對(duì)提高鍍膜的純度極為重要;③熱量可直接加到蒸鍍材料的表面,因而熱,熱傳導(dǎo)和熱輻射的損失少。離子鍍密度大,無(wú)氣孔但膜層缺陷較多,附著性很好,內(nèi)應(yīng)力視工藝條件而定,繞射性較好。

光學(xué)薄膜應(yīng)用反應(yīng)磁控濺射技術(shù)已有多年,中頻閉合場(chǎng)非平衡磁控濺射技術(shù)也已在光學(xué)薄膜(如增透膜)、低輻射玻璃和透明導(dǎo)電玻璃等方面得到應(yīng)用。特別是透明導(dǎo)電玻璃目前廣泛應(yīng)用于平板顯示器件、太陽(yáng)能電池、微波與射頻屏蔽裝置與器件、傳感器等。

用普通真空鍍膜只能鍍直射表面,蒸發(fā)料粒子尤如攀登云梯一樣,只能順梯而上;而離子鍍則能均勻地繞鍍到零件的背面和內(nèi)孔中,帶電離子則好比坐上了直升飛機(jī),能夠沿著規(guī)定的航線飛抵其活動(dòng)半徑范圍內(nèi)的任何地方。

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