原子層沉積是在一個加熱反應(yīng)器中的襯底上連續(xù)引入至少兩種氣相前驅(qū)體物種，化學(xué)吸附的過程直至表面飽和時就自動終止，適當(dāng)?shù)倪^程溫度阻礙了分子在表面的物理吸附。

       目前可以沉積的材料包括：氧化物，氮化物，氟化物，金屬，碳化物，復(fù)合結(jié)構(gòu)，硫化物，納米薄層等。 中空納米管，隧道勢壘層，光電電池性能的提高，納米孔道尺寸的控制，高高寬比納米圖形，微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）的反靜態(tài)阻力涂層和疏水涂層的種子層，納米晶體，ZnSe涂層，納米結(jié)構(gòu)，中空納米碗，存儲硅點(diǎn)涂層，納米顆粒的涂層，納米孔內(nèi)部的涂層，納米線的涂層。

       困擾聽障人士的，莫過于助聽器的日常護(hù)理工作，助聽器怕臟怕潮濕，而且助聽器內(nèi)的電子元件小型化，抗干擾，等要求，更需要適應(yīng)各種惡劣的工作環(huán)境。隨著防水、防潮、防塵技術(shù)的不斷發(fā)展，派瑞林（Parylene）真空納米鍍膜技術(shù)在提升助聽防護(hù)領(lǐng)域得到了很好的應(yīng)用。

       派瑞林涂層作為一種新型的三防材料，存在環(huán)保wu毒無氣味不污染環(huán)境的先天優(yōu)勢，通過氣相沉積CVD的方式形成一種致密的防護(hù)膜，從而對被涂敷的產(chǎn)品起到防潮防鹽霧防霉菌的三防效果。

        Parylene涂層也用于硅橡膠鍵盤。Parylene涂層也用于硅橡膠鍵盤，防止印刷圖案，抵抗表面磨損，解決粘性問題，同時保護(hù)鍵盤免受污垢，灰塵和油污。所施加的膜具有高介電強(qiáng)度，并且不損害下面的橡膠組分的電絕緣性能。Parylene提供無細(xì)孔，防止潮濕，腐蝕性體液，常見氣體，抑菌和溫度。增加涂層厚度可進(jìn)一步提高化學(xué)耐受性和耐溶劑性，而不會增加重量或?qū)嵸|(zhì)上影響基板的彈性。此外，聚對二薄膜可以除去硅橡膠的粘性，使硅橡膠表面更潤滑，改變硅橡膠按鍵的手感。由于厚度薄，聚對二薄膜是透明或接近透明的，對按鍵的外觀和尺寸沒有影響。