LIBS使用高峰值功率的脈沖激光照射樣品，光束聚焦到一個(gè)很小的分析點(diǎn)（通常10-400微米直徑）。在激光照射的光斑區(qū)域，樣品中的材料被燒蝕剝離，并在樣品上方形成納米粒子云團(tuán)。激光誘導(dǎo)擊穿光譜儀的技術(shù)優(yōu)勢安全分析當(dāng)操作強(qiáng)大的激光器時(shí)，應(yīng)十分小心。由于激光光束的峰值能量是相當(dāng)高的，其吸收及多光子電離效應(yīng)增加了樣品上方生成的氣體和氣溶膠云團(tuán)的不透明性，即便只是很短暫的激光脈沖激發(fā)。由于激光的能量顯著地被該云團(tuán)吸收，等離子體逐漸形成。高能量的等離子體使納米粒子熔化，將其中的原子激發(fā)并且發(fā)出光。原子發(fā)出的光可以被檢測器捕獲并記錄為光譜，通過對光譜進(jìn)行分析，即可獲得樣品中存在何種元素的信息，通過軟件算法可以對光譜進(jìn)行進(jìn)一步的定性分析（例如材料鑒別，PMI）和定量分析（例如，樣品中某一元素的含量）。

檢出限和定量分析LIBS檢出限很大程度上取決于被測樣品的類型、具體哪些元素、以及儀器的激光器/光譜檢測器的選型配置。基于以上原因，LIBS的檢出限可以從幾ppm一直到%級的范圍。NitonApollo采用有效的激光和高純ya氣吹掃技術(shù)，可在約10秒內(nèi)提供實(shí)驗(yàn)室品質(zhì)結(jié)果。在大多數(shù)常規(guī)應(yīng)用中，對于絕大多數(shù)元素，LIBS檢出限可以做到10 ppm到100 ppm。在定量分析中，通過LIBS獲得的測量結(jié)果的相對標(biāo)準(zhǔn)偏差可以達(dá)到3-5%以內(nèi)，而對于均質(zhì)材料通?？梢缘?%以內(nèi)甚至<1%。

激光誘導(dǎo)擊穿光譜（Laser Induced Breakdown Spectroscopy,簡稱LIBS）是一種原子發(fā)射光譜。它利用高能量聚焦脈沖激光光束激發(fā)樣品表面，對產(chǎn)生的原子光譜進(jìn)行分析得到對應(yīng)元素成分及含量。用戶可計(jì)算碳當(dāng)量并執(zhí)行高等級平均，同時(shí)還可以識(shí)別合金牌號和偽元素。是一種快速、定性定量的分析手段。隨著激光器以及光譜儀小型化技術(shù)的發(fā)展，輕便的手持LIBS光譜儀成為現(xiàn)實(shí)。其優(yōu)勢在于能將精密的分析儀器帶到生產(chǎn)的線，主要用于鐵基、鋁基、銅基、鎳基等金屬合金材料的現(xiàn)場牌號鑒別及合金元素成分的快速鑒定。手持LIBS光譜儀能對生產(chǎn)過程進(jìn)行高速，的監(jiān)控，完善企業(yè)質(zhì)量管理體系，提高生產(chǎn)效率，是工業(yè)生產(chǎn)過程中的一個(gè)不可或缺的環(huán)節(jié)。

LIBS基本原理

脈沖激光束經(jīng)透鏡會(huì)聚后輻照在固體靶的表面，激光傳遞給靶材的能量大于熱擴(kuò)散和熱輻射帶來的能量損失，能量在靶表面聚集，當(dāng)能量密度超過靶材的電離閾值時(shí)，即可在靶材表面形成等離子體，具體表現(xiàn)為強(qiáng)烈的火花，并伴隨有響聲。激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)是在激光器發(fā)明之后才慢慢發(fā)展起來的一項(xiàng)測試技術(shù)。激光誘導(dǎo)的等離子體溫度很高，通常在10000K以上，等離子體中含有大量激發(fā)態(tài)的原子、單重和多重電離的離子以及自由電子，處于激發(fā)態(tài)的原子和離子從高能態(tài)躍遷到低能態(tài)，并發(fā)射出具有特定波長的光輻射，用高靈敏度的光譜儀對這些光輻射進(jìn)行探測和光譜分析分析，就可以得到被測樣品的成分、含量等信息。通常經(jīng)過聚焦后的激光功率密度達(dá)到GW/cm2量級，光斑處物質(zhì)蒸發(fā)、氣化和原子化后電離，形成高溫、高壓和高電子密度的等離子體。