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發(fā)布時間:2021-07-24 19:03  
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在粉塵較多的真空工藝如何選擇真空泵,才能讓真空泵既能夠滿足工藝要求,同時又能夠長期穩(wěn)定的運行,延長真空泵維修維保時間,節(jié)約運行成本,保證生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)效率,保證設(shè)備產(chǎn)能。
在CVD、PECVD、ALD等工藝中,真空腔體會通入各種各樣的工藝氣體來完成產(chǎn)品表面薄膜工藝,這些工藝氣體在反應(yīng)過程中有時會大量粉塵或容易結(jié)晶,如果粉塵和結(jié)晶物不能及時排除真空泵外,就容易在真空泵內(nèi)沉積,堆積到一定量時就會造成真空泵葉輪、轉(zhuǎn)子等卡滯,需要及時下機保養(yǎng)和維護,否則的話就會造成真空泵的更大的損壞,但是干式泵的維護成本又比較昂貴,選擇一臺耐粉塵,維保周期長的真空泵是非常重要的。
真空泵作為常用的一種設(shè)備,真空泵節(jié)能改造報價,平時我們在進(jìn)行選擇使用時,會在價格使用環(huán)境等條件下去進(jìn)行型號的選擇。而從真空泵性能方面則能夠注意到,極限壓強往往是非常重要的一個指數(shù),和實際工作過程中產(chǎn)生的壓力指數(shù)有著非常密切的關(guān)系。所以在操作時候都應(yīng)該更好把握住這些內(nèi)容。
在運行工況下,真空泵節(jié)能改造,汽輪機真空遠(yuǎn)比起動時高,此時水環(huán)真空泵的工作點落人性能曲線的不穩(wěn)定段,水環(huán)真空泵人口處于高度真空狀態(tài),壓強比較大,容易出現(xiàn)汽蝕現(xiàn)象,甚至?xí)l(fā)生葉片斷裂事故,同時,機組的震動超標(biāo)、噪音嘈雜以及運行電流極不穩(wěn)定?;趯λh(huán)真空泉性能曲線和運行性能兩者的分析。
無油節(jié)能真空泵
真空泵普通是用來抽真空的,但是并不是一切的場所均請求真空度越低越好,而有的場所是請求控制在某一需求的真空度范圍內(nèi)
比常規(guī)真空泵節(jié)能30%-70%,可靠是節(jié)能環(huán)保型產(chǎn)品。應(yīng)用機械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的辦法對被抽容器停止抽氣而取得真空的器件或設(shè)備,普遍用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。