工作完畢，切斷電爐電源，等爐溫降到一定溫度后，關(guān)閉擴散泵加熱電源。在抽預(yù)真空狀態(tài)下，等油增壓泵降油溫，然后關(guān)真空閥，關(guān)機械真空泵，后關(guān)冷卻水和總電源。工作結(jié)束后，應(yīng)及時填寫設(shè)備使用記錄及相關(guān)文件，整理及打掃工作現(xiàn)場，消滅事故隱患。

真空設(shè)備操作應(yīng)注意，擴散泵加熱時，主抽泵及前級閥需打開抽真空。主閥必須在前級閥打開后才能打開。主閥未關(guān)上時，爐體放氣閥不能打開。

真空設(shè)備的改造。為防比大量冷空氣進行擴散泵和增壓泵，可在抽高真空管道系統(tǒng)加裝一臺維持泵，實現(xiàn)真空閥與放氣閥之問互鎖，從而確保設(shè)備安全運行。由于管路沒有加維持泵，在抽高真空時，氣動擋板閥由于損壞或誤操作而漏氣，使冷空氣進入，冷空氣遇高溫油蒸氣，使氣體迅速膨脹發(fā)生。

真空泵維修的維護工作要點有哪些

（1）真空泵維修在正常的工作中要注意檢查軸承的工作和潤滑情況，其溫度（軸承和外圓處）比環(huán)境溫度一般高出15℃～20℃為宜，不允許超過30℃～35℃，即軸承架外圓處實際溫度不應(yīng)超過55℃～60℃；正常工作的軸承每年應(yīng)加油3～4次，每年至少清洗軸承一次，并將潤滑油全部更換。

（2）真空泵維修在正常工作中還要定期壓緊填料，如果填料因磨損而不能保證所需要的密封性能時，應(yīng)更換新填料。如果采用機械密封，發(fā)現(xiàn)泄漏現(xiàn)象，應(yīng)檢查機械密封的動靜環(huán)是否已損壞或是輔助密封老化，如出現(xiàn)上述情況，均需要更換新零件。

（3）真空泵維修在出現(xiàn)特殊聲音時，可拆下兩端蓋上的壓板，查看葉輪兩端面是否與分配器研傷，還可檢查排氣閥板是否正常。

7、重新裝配后應(yīng)開展試運轉(zhuǎn)，通常須空件轉(zhuǎn)2鐘頭并換機油二次，因清理時在機械泵中會留出一定量易揮發(fā)性有機物，待運行一切正常后，再資金投入一切正常工作中。  

8、啟動電動機，當(dāng)機械泵一切正常運行后，開啟出入口氣壓表和進口真空泵，視其顯示信息出適度工作壓力后，慢慢開啟截止閥，另外查驗電動機負載狀況。  

9、機械泵長期性停止使用，需在泵所有拆卸，擦拭水份，將旋轉(zhuǎn)位置及相接處涂以植物油脂裝好，妥當(dāng)存放。  

10、機械泵在嚴冬時節(jié)應(yīng)用時，泊車后，需將泵殼下邊加水油塞扭開將物質(zhì)放凈，避免凍破。