由單質(zhì)氟與硫直接化合而得。反應(yīng)也會(huì)生成硫的其他氟化物如十氟化二硫，可通過(guò)加熱使其歧化后，再用氫i氧化鈉處理除去剩余的四氟i化硫而純化。

六氟化硫具有良好的電氣絕緣性能及優(yōu)異的滅弧性能。其耐電強(qiáng)度為同一壓力下氮?dú)獾?.5倍，擊穿電壓是空氣的2.5倍，滅弧能力是空氣的100倍，是一種優(yōu)于空氣和油之間的新一代超高壓絕緣介質(zhì)材料。六氟化硫以其良好的絕緣性能和滅弧性能，如:斷路器、高壓變壓器、氣封閉組合電容器、高壓傳輸線、互感器等。電子級(jí)高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，被大量應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域。冷凍工業(yè)作為制冷劑，制冷范圍可在-45℃~0℃之間。電氣工業(yè)利用其很高介電強(qiáng)度和良好的滅電弧性能，用作高壓開關(guān)、大容量變壓器、高壓電纜和氣體的絕緣材料。

在電弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它們都有強(qiáng)烈的腐蝕性和毒性。因此在電力系統(tǒng)GIS等應(yīng)用SF6的工作場(chǎng)所，要加裝SF6氣體泄漏監(jiān)測(cè)設(shè)備，SF6氣體監(jiān)測(cè)的主要方法有一下四種:

1)電化學(xué)技術(shù)(TGS830、TGS832)費(fèi)加羅傳感器或鹵素氣體傳感器。

電化學(xué)技術(shù)的原理是被檢測(cè)氣體接觸到200°C左右高溫的催化劑表面，并與之發(fā)生相應(yīng)的化學(xué)反應(yīng)，從而產(chǎn)生電信號(hào)的改變，以此來(lái)發(fā)現(xiàn)被檢測(cè)氣體。電化學(xué)技術(shù)其成本低、壽命長(zhǎng)、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可以連續(xù)工作的特點(diǎn)。

2)高壓擊穿技術(shù)。

電i擊穿技術(shù)是從SF6在電力上的典型應(yīng)用--作為絕緣氣體應(yīng)用在GIS開關(guān)柜中演變而來(lái)的。其工作原理是根據(jù)SF6氣體絕緣的特性，從置于被檢測(cè)空氣中的高壓電極間電壓的變化來(lái)判斷空氣中是否含有SF6氣體。因其結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單，成本低，檢測(cè)精度相對(duì)高的特點(diǎn)。

3)紅外光譜技術(shù)(IAC510)

紅外光譜吸收技術(shù)(又稱激光技術(shù))的原理是SF6作為溫室氣體，對(duì)特定波段的紅外光有很強(qiáng)烈的吸收特性。紅外光譜技術(shù)的特點(diǎn)是成本高，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，靈敏度高，不受環(huán)境的影響和干擾，對(duì)環(huán)境的溫度和濕度的變化所帶來(lái)的檢測(cè)誤差很小，由于其是采用主動(dòng)抽取測(cè)試點(diǎn)氣體的原理，帶來(lái)的效果是發(fā)現(xiàn)泄漏早，反應(yīng)迅速。同時(shí)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)對(duì)工程實(shí)施中的布線也帶來(lái)了很大的方便。

4)電子捕獲ECD原理

電子捕獲檢測(cè)器(electron capture detector)，簡(jiǎn)稱ECD。 電子捕獲檢測(cè)器也是一種離子化檢測(cè)器，它是一個(gè)有選擇性的高靈敏度的檢測(cè)器，它只對(duì)具有電負(fù)性的物質(zhì)，如含鹵素、硫、磷、氮的物質(zhì)有信號(hào)，物質(zhì)的電負(fù)性越強(qiáng)，也就是電子吸收系數(shù)越大，檢測(cè)器的靈敏度越高，而對(duì)電中性(無(wú)電負(fù)性)的物質(zhì)，如烷烴等則無(wú)信號(hào)。

關(guān)于六氟化硫氣體的電性能，我們將分別討論它在常溫下的電氣絕緣性能和高溫下的滅弧性能。

在均勻電場(chǎng)中，工頻電壓的作用下，六氟化硫氣體、油和氮?dú)庀啾?，六氟化硫氣體的介質(zhì)強(qiáng)度大約是氮?dú)獾奈灞叮耶?dāng)壓力大于8個(gè)大氣壓時(shí)，其介質(zhì)強(qiáng)度就能夠超過(guò)變壓器油。

六氟化硫氣體的擊穿電壓除了與壓力有關(guān)以外，還與電極表面的光潔度和潔凈度有關(guān);電極表面越潔凈、越光潔，其擊穿電壓就越高。

在同一壓力下，六氟化硫氣體的擊穿電壓隨著觸頭開距的增大而增大，但不是一個(gè)線性的關(guān)系，而是有一點(diǎn)飽和的意思，而且壓力越大飽和越嚴(yán)重;所以我們?cè)趯?shí)踐中不能單靠增大觸頭開距來(lái)加強(qiáng)絕緣。

此外，六氟化硫氣體的擊穿電壓還與電極的幾何形狀和觸頭面積有關(guān);如果電極形狀使得電場(chǎng)越均勻，其擊穿電壓就越高，這在這里要注意，和真空開關(guān)不同，電極材料對(duì)六氟化硫氣體的擊穿電壓沒(méi)有比較明顯的影響。

將硫、、一氯化硫、或等加入到無(wú)水中，以鎳為陽(yáng)極進(jìn)行電解即可制得六氟化硫?；蚍土蛑苯臃磻?yīng)制備六氟化硫。還可以金屬氧化物為催化劑于300℃下用空氣氧化，或者在500～2000℃使氟化硫熱解。2、以長(zhǎng)約300mm直徑25mm的鎳管為反應(yīng)器，將盛有硫粉的鎳舟置于其中，反應(yīng)管與一石英阱連接，石英阱以液態(tài)氧冷卻。裝置的末端與一裝有新脫水的KF的鐵制干燥管相連，以隔離空氣中的濕氣。