精密和超精密加工技術(shù)簡介

就先進制造技術(shù)的技術(shù)實質(zhì)性而論，主要有精密和超精密加工技術(shù)與制造自動化兩大領(lǐng)域。前者包括了精密加工、超精密加工、微細加工，以及廣為流傳的納米加工，它追求加工上的精度和表面質(zhì)量的極限，可統(tǒng)稱為精密工程；后者包括了設(shè)計、制造和管理的自動化，它不僅是快速響應(yīng)市場需求、提高生產(chǎn)率、改善勞動條件的重要手段，而且是提高產(chǎn)品質(zhì)量的有效方式。1nm，用于測量微位移及微小尺寸的系統(tǒng)精度能達到10nm左右，測量壓力及壓差的系統(tǒng)精度達到帕級，此外測量振動、薄膜厚度及液位的儀器均得到成功的應(yīng)用，特別是近年來出現(xiàn)的成功應(yīng)用電容測微儀技術(shù)測量盲小孔和微孔直徑。兩者密切聯(lián)系，許多精密和超精密加工要靠自動化技術(shù)才能達到預(yù)期目標(biāo)，而不少制造自動化則有賴于精密加工才能達到設(shè)計要求。

根據(jù)加工方法的機理和特點，精密和超精密加工方法，可以分為去除加工、結(jié)合加工和變形加工三大類。

（1）去除加工。又稱為分離加工，是從工件上去除一部分材料，傳統(tǒng)的機械加工方法，如車削、銑削、磨削、研磨和拋光等，以及特種加工中的電火花加工、電解加工等，均屬這種加工方法。

（2）結(jié)合加工。利用物理和化學(xué)方法，將不同材料結(jié)合(bonding)在一起。按結(jié)合的機理、方法、強弱等，它又分為附著、注入(injection)和連接(jointed)三種。

（3）變形加工。又稱為流動加工，利用力、熱、分子運動等手段，使工件產(chǎn)生變形，改變其尺寸、形狀和性能。

電容式非接觸式測微儀，通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內(nèi)的微小位移，測量精度為納米級。測微儀由機箱與傳感模塊組成，可組成多測量通道數(shù)。

模塊化設(shè)計、自由組拼、高分辨率、模擬輸出、非接觸式測量。

它基于一個理想的平行板電容器原理，傳感器與相對面被測目標(biāo)形成的兩個電極，采用保護環(huán)電容器原理，用于測量任何金屬時，傳感器仍是線性的。

制造業(yè)是國民經(jīng)濟的支柱產(chǎn)業(yè)，隨著制造業(yè)的快速發(fā)展，尤其是先進制造技術(shù)的出現(xiàn)，新工藝、新加工方法不斷涌現(xiàn)。精密加工和超精密加工是先進制造技術(shù)的重要支柱，也是提高制造技術(shù)水平的關(guān)鍵。精密加工和超精密加工是先進制造技術(shù)的重要支柱，也是提高制造技術(shù)水平的關(guān)鍵。當(dāng)前，在制造自動化領(lǐng)域，進行了大量有關(guān)計算機輔助技術(shù)軟件CAD、CAPP、CAM的開發(fā)，計算機集成制造技術(shù)CIM、生產(chǎn)模式（如精良生產(chǎn)、敏捷制造、虛擬制造等），以及清潔生產(chǎn)和綠色制造等研究，代表了當(dāng)前制造技術(shù)的一個重要方面。但這絕非高新制造技術(shù)的全部，作為制造技術(shù)的主戰(zhàn)場，仍然要靠精密加工和超精密加工技術(shù)。