液伺服比例閥：是一種性能和價(jià)格介于伺服閥和普通比例閥之間的控制閥。它具有傳統(tǒng)比例閥的特征，采用比例電磁鐵作為電-機(jī)械轉(zhuǎn)換器，其具可靠、耐用、使用維護(hù)成本低的優(yōu)點(diǎn)；同時(shí)，它又采用伺服閥的加工工藝、零遮蓋閥口，其閥芯與閥套之間的配合精度與伺服閥相當(dāng)，無零位死區(qū)，頻率響應(yīng)比一般比例閥高，而可靠性高于一般伺服閥。該閥還有一個(gè)的特性：當(dāng)閥的電源失效，電磁鐵失電時(shí)，由于彈簧的作用，能使閥芯處于一個(gè)確定的位置，從而使其4個(gè)通口具有固定的通斷形式。普通伺服閥不易實(shí)現(xiàn)

電液比例伺服方向閥：對(duì)油液的清潔度要求低于電液伺服閥，而它的控制性能已與普通電液伺服閥相當(dāng)，特別適用于各種工業(yè)領(lǐng)域的閉環(huán)控制系統(tǒng)。

閥芯位移閉環(huán)可以顯著的改善比例閥滯環(huán)。

而開環(huán)比例閥（不帶閥芯位置閉環(huán)）也可以通過在驅(qū)動(dòng)電流上疊加顫振來顯著降低滯環(huán)，目前用于減小力反饋型伺服閥、比例閥滯環(huán)的顫振方式，有以下三種：疊加獨(dú)立顫振：線性驅(qū)動(dòng)電流（驅(qū)動(dòng)效率較低，發(fā)熱嚴(yán)重）上疊加三角波，常用于較小線圈電流的伺服閥驅(qū)動(dòng)。屬于獨(dú)立顫振（顫振的頻率和幅度可以單獨(dú)調(diào)節(jié)）。獨(dú)立PWM顫振：以高頻PWM（等幅脈寬調(diào)制）波作為載波，載波頻率較高，并在載波上疊加較低頻率的三角波。亦屬于獨(dú)立顫振。寄生PWM顫振：直接以PWM波（50~500HZ）驅(qū)動(dòng)產(chǎn)生的充放電波形（近似三角波）作為顫振來源（如下圖）。屬于寄生顫振，顫振的幅度不是獨(dú)立可調(diào)的。目前卓客US系列放大器采用的是寄生PWM顫振。

流量非LVDT反饋的閥是開環(huán)，指令信號(hào)到達(dá)放大器之后，相應(yīng)地電流信號(hào)會(huì)提供給電磁鐵。此處電流與電磁力正比例，線性關(guān)系。電磁力克服彈簧作用力，推動(dòng)閥芯，直至彈簧力與電磁力平衡為止。這種力的平衡在特定的閥芯行程（如50%）是非常準(zhǔn)確的。如果內(nèi)部的液動(dòng)力阻止閥芯達(dá)到期望的指令位置，非LVDT閥也沒有什么校正措施。帶LVDT的閥控制就完全不同了。指令信號(hào)給定之后，閥芯移到特定的位置。如果閥芯并沒有達(dá)到該位置，指令控制電流就會(huì)上升，直至達(dá)到預(yù)定位置。閥體內(nèi)的紊流液動(dòng)力作用于閥芯，與電磁力相反。由于這個(gè)原因，你會(huì)發(fā)現(xiàn)在一些制造商的樣本中，同樣額定流量的閥，具有LVDT的實(shí)際流量可以更高一些。