淪分子泵是一套超高速、超真空的裝置，它的旋轉(zhuǎn)速度高達90000RPM（1500轉(zhuǎn)／秒），形成的超真空度可以低到5x10-10Pa以下（十億分之二個大氣壓），并且它設(shè)計緊湊，體積小，重量輕。主要有兩個系列：STP和EXT，主要區(qū)別是EXT系列的回轉(zhuǎn)軸承是陶瓷的，而STP系列的回轉(zhuǎn)軸承是用磁性材料制成的。干泵選擇CVD制程通常需要通過選擇適當(dāng)?shù)母杀卯a(chǎn)品來克服四個特定挑戰(zhàn)。

五、羅茲泵

EDWARDS在全球早推出高抽速的羅茨泵，其抽氣率從240m3／h到4500m3／h，極限真空10-3mbar。在低真空中有很好的抽氣率，常串油式或干式泵使用

六、真空計

愛德華真空計測量范圍從2000-10-11mbar，內(nèi)設(shè)先進的微處理器控制；

適用于鋰離子電池制造設(shè)備的全球真空泵制造商鋰離子電池正在推動全世界的環(huán)保議程，可靠的高質(zhì)量真空是其制造過程中的關(guān)鍵因素。我們有一系列適合所有電池制造需求的泵，這些泵由全球服務(wù)和支持網(wǎng)絡(luò)提供支持。 油封旋轉(zhuǎn)式葉片泵：

低成本干泵：

可減少維護成本并降低環(huán)境影響智能泵：

高控制功能ATEX 認(rèn)證版本：

安全操作

惠州市明勝機電設(shè)備有限公司制造銷售各種真空泵，并提各類真空泵維修保養(yǎng)服務(wù)（羅茨，螺桿，旋片式，干式，水環(huán)式等真空泵維修保養(yǎng)）以及各類進口真空泵配件耗材。服務(wù)品牌：普旭（博世）、里其樂、萊寶、貝克、愛發(fā)科、愛德華、大晃、斗一，阿爾卡特等進口真空泵。定期檢查電動機電流值，不得超過電動機額定電流泵長期運行后，由于機械磨損，使機組噪聲級振動增大時，應(yīng)停機檢查，必要時可更換易損零件及軸承，機組大修期一般為一年。