特長

● 低噪音、低振動；

● 采用無彈簧旋片——可以防止因彈簧斷裂而引起的停泵故障；

● 采用特殊的冷卻方式和強制供油方式——能夠在高的吸氣口壓力下，獲得穩(wěn)定的排氣性能；

● 采用油壓式油逆流防止機構(gòu)——可z大限度地減少進入泵內(nèi)的逆流油量，緩和再起動時的負荷；

● 結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕。

用途● 鍍膜、貼合、真空爐、制冷、凍干、檢漏裝置

組成

● YM系列羅茨泵機組是由油旋片真空泵、羅茨泵、安裝支架、接管、控制箱、油霧過濾器等組合而成，用于生產(chǎn)、研究設(shè)備的真空排氣。

用途

● 蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜、離子鍍、光學鍍膜等

● 單晶爐、多晶爐、真空熱處理爐、燒結(jié)爐、退火爐、淬火爐等

● 真空干燥、冷凍干燥、檢漏設(shè)備及系統(tǒng)、氣體回收系統(tǒng)、液晶注入等

● 冰箱、家用空調(diào)、中央空調(diào)、節(jié)能燈、背光源、自動抽空線、排氣設(shè)備等

不同的主真空泵，其前級泵配置各異，分述如下。

(1)蒸汽流泵前級配置

類泵包括油擴散泵、油擴散噴射泵以及增擴泵等。在主泵允許的z大排氣口壓力下，前級泵需將主泵產(chǎn)生的z大氣體量及時抽走，即前級泵的有效抽速必須滿足：

Sq> pg .S/ pn或Qmax /pn

式中,Sq——前級泵的有效抽速，L/s，和選擇高真空泵一樣，先由Sq來確定前級泵的抽速，然后再根據(jù)該抽速選定泵型;

pn ——主泵前級的臨界前級壓力，Pa;

Qmax ——所能排出的z大氣體量，Pa .L/s;

pg ——主泵允許的z高工作壓力，Pa;

S——主泵工作在pg時的有效抽速，L/s。

在選擇前級泵時，應(yīng)該注意機械泵的抽速是在大氣壓力下測得的，但正常使用的泵都是在低于大氣壓的條件下運轉(zhuǎn)，使泵的抽速下降了，因而我們必須根據(jù)抽速曲線來選擇泵。若沒有抽速曲線，可參考經(jīng)驗公式

Sp =(1.5～3) S’p

式中，Sp——實際選用的前級泵的抽速;

S’p——計算要求的前級泵抽速。