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Edwards真空分子泵作用故障修復(fù) 潽拓光電

發(fā)布時(shí)間:2021-08-23 10:14  

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廣州潽拓光電——專業(yè)維修Edwards EXT255H分子泵

優(yōu)點(diǎn)

渦輪分子泵可不用任何阱,按操作規(guī)程工作,就能為被抽容器提供一個(gè)極為清潔的真空環(huán)境,且不含有任何碳?xì)浠衔?。由于現(xiàn)代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的了,對(duì)于小泵多用油脂潤滑軸承,也有用空氣軸承的,但磁懸浮軸承用得較多。0*10-7mbar*持續(xù)模擬生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試24小時(shí)*0-20KHz震動(dòng)頻譜加速度分析。近幾年來也有不少干式前級(jí)泵出現(xiàn),使渦輪分子泵系統(tǒng)不存在油蒸汽返流,使它真正成為一種清潔的干式高真空泵氣體輸送能力強(qiáng)

由于現(xiàn)代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的了,對(duì)于小泵多用油脂潤滑軸承,也有用空氣軸承的,但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少干式前級(jí)泵出現(xiàn),使渦輪分子泵系統(tǒng)不存在油蒸汽返流,使它真正成為一種清潔的干式高真空泵 氣體輸送能力強(qiáng) 大多數(shù)渦輪分子泵對(duì)于輸送輕氣體(如氫、氦)的能力很強(qiáng)。因而它非常適于超高真空下的工藝操作。對(duì)于那些富氫的工藝過程,氦質(zhì)譜檢漏儀等場(chǎng)合均可得到應(yīng)用。2)渦輪分子泵靠高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來實(shí)現(xiàn)抽氣的。有專門設(shè)計(jì)用于抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵,適用于刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕,離子束加工,低壓化學(xué)氣相沉積,外延及離子注入等工藝操作。




大多數(shù)渦輪分子泵對(duì)于輸送輕氣體(如氫、氦)的能力很強(qiáng)。因而它非常適于超高真空下的工藝操作。對(duì)于那些富氫的工藝過程,氦質(zhì)譜檢漏儀等場(chǎng)合均可得到應(yīng)用。(2)旋片式真空泵的外觀設(shè)計(jì)真空泵的電機(jī)外殼采用采用鋁合金材料,鋁合金具有較高的散熱效率,保證長時(shí)間連續(xù)的正常運(yùn)行,并具有較好的外觀。有專門設(shè)計(jì)用于抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵,適用于刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕,離子束加工,低壓化學(xué)氣相沉積,外延及離子注入等工藝操作。


廣州潽拓光電科技有限公司是一家專業(yè)做萊寶分子泵維修、德國萊寶真空泵維修、原裝萊寶真空泵維修、萊寶渦輪分子泵維修的公司,專業(yè)萊寶分子泵保養(yǎng)維修,修理,萊寶復(fù)合分子泵維修,修理,現(xiàn)在針對(duì)廣州各地可以上門收件。


廣州潽拓光電——專業(yè)維修Edwards EXT255H 渦輪分子泵

 渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子,使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵。渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)快,能抗各種射線的照射,耐大氣沖擊,無氣體存儲(chǔ)和解吸效應(yīng),無油蒸氣污染或污染很少,能獲得清潔的超高真空。它們采用24V到48V的直流無傳感器電機(jī),具備內(nèi)置的驅(qū)動(dòng),完全兼容我們的TAG和TIC控制器系列。渦輪分子泵廣泛用于高能加速qi、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、重粒子加速qi以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。 

優(yōu)點(diǎn):


  大多數(shù)渦輪分子泵對(duì)于輸送輕氣體(如氫、氦)的能力很強(qiáng)。因而它非常適于超高真空下的工藝操作。對(duì)于那些富氫的工藝過程,氦質(zhì)譜檢漏儀等場(chǎng)合均可得到應(yīng)用。伴著嚴(yán)謹(jǐn)?shù)膬?nèi)部項(xiàng)目實(shí)施管理,控制制流程,確保每一項(xiàng)真空設(shè)備的工藝技術(shù)先進(jìn)性和質(zhì)量的可靠性。有專門設(shè)計(jì)用于抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵,適用于刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕,離子束加工,低壓化學(xué)氣相沉積,外延及離子注入等工藝操作。

 


快速維修/銷售/保養(yǎng)-英國愛德華Edwards 分子泵及分子泵電源:

STP2203、STP1303、STP-301C、STP-451、STP-1603 C、STP-H301、STP-CH451C、STP-A2203C、STP-H600C、STP-1000C、STP-H2000C、STP-H1303CH、STP-803CA、STP-1303CA、STP-803C、EXT 70/70H、、EXT200/200H、EXT351H、EXT255HI、EXT75DX、EXT556H、EXT240D、EXT300D、EXT400D、STP-iX455 、STP-iXR1606 、STP-iXA2206C、STP-iXA2206C 、STP-iXA3306C、 STP-L301 、STP603 、STPH301C  STPH451C、STPA1603C 、STPA2203C 、STP-XA4503C、  STP-XA2703C 、STPA803C 、EXT406PX、EXT255HI、EXT255DX、EXT70、STP等




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廣州潽拓光電科技——nEXT300D分子泵

nEXT300D 是一種是混合軸承復(fù)合分子泵。它隨附 ISO100 或 CF100 入口法蘭,具備 300ls-1 的 N2抽速。有專門設(shè)計(jì)用于抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵,適用于刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕,離子束加工,低壓化學(xué)氣相沉積,外延及離子注入等工藝操作。nEXT 泵將我們的成熟軸承技術(shù)(油潤滑的陶瓷下方軸承和干燥的永磁性上方軸承)以及采用新分子分級(jí)技術(shù)的改進(jìn)轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)結(jié)合在一起,以提供改進(jìn)的抽速和壓縮比,同時(shí)提供真正的用戶可維護(hù)性。


潽拓——Edwards真空分子泵作用,分子泵

EXT75DX 愛德華復(fù)合渦輪分子泵


愛德華 EXT75DX 分子泵產(chǎn)品介紹     

       BOC Edwards EXT泵適用于除苛刻的半導(dǎo)體應(yīng)用和科學(xué)應(yīng)用(這些領(lǐng)域可使用STP系列泵)以外的任何領(lǐng)域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷軸承和磁懸浮軸承的組合形式。陶瓷軸承與傳統(tǒng)軸承相比具有更輕、更硬和更平穩(wěn)的優(yōu)點(diǎn),以及壽命長、小振動(dòng)的優(yōu)點(diǎn)。(3)旋片泵的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中,轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子和殼體之間留有空隙,磨損小。由于軸承滾珠和軸承座使用了不同材料,防止了微小凹陷而提高可靠性。