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發(fā)布時間:2021-01-19 19:46  
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精密五金蝕刻技能是運用特定的溶液與薄膜間所進行的化學反響來去掉薄膜未被光阻覆蓋的有些,而抵達精密五金蝕刻的目的,這種精密五金蝕刻辦法也即是所謂的濕式精密五金蝕刻。將暴露的金屬有些在后續(xù)的加工中與腐蝕液直接噴壓觸摸而被蝕除, 獲取所需的幾何形狀及高精度尺度的商品技能精密五金蝕刻技能。低成本、高可靠性、高產(chǎn)能及優(yōu)勝的精密五金蝕刻挑選比。但相對于干式精密五金蝕刻,除了無法界說較細的線寬外,濕式精密五金蝕刻仍有以下的缺點: 需花費較高成本的反響溶液及去離子水;
蝕刻曝光就是通過曝光制版、顯影后,將要蝕刻區(qū)域的保護膜去除,在蝕刻時接觸化學溶液,達到溶解腐蝕的作用,形成凹凸或者鏤空成型的效果。
顯影是在硅片表面光刻膠中產(chǎn)生圖形的關鍵步驟。光刻膠上的可溶解區(qū)域被化學顯影劑溶解,將可見的島或者窗口圖形留在硅片表面。常見的顯影方法是旋轉、噴霧、浸潤,然后顯影。硅片用去離子水沖洗后甩干。