烘箱介紹及其注意事項(xiàng)

烘箱的使用注意：

1. 本型烘箱應(yīng)在室內(nèi)工作，并安裝平穩(wěn)。

2. 電源輸入應(yīng)裝置專用的前級(jí)通斷開關(guān)，并接妥良好地線。

3. 必須檢查電源、電壓、電源接線無誤后，方可通電使用。

4. 在新購使用或擱置較久再用時(shí)，應(yīng)先用低溫烘烤80-100℃二小時(shí)后再開始升高溫度，以利潮氣外泄，增強(qiáng)絕緣性能和延長瓷件壽命。

熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)主要包括旋風(fēng)分離器、鼓風(fēng)機(jī)、空氣過濾器和加熱器等。從烘干機(jī)出來的熱空氣經(jīng)旋風(fēng)分離器除去粉末后回至鼓風(fēng)機(jī)，然后經(jīng)過濾，可加熱送入烘干機(jī)內(nèi)，在循環(huán)過程中，根姻空氣的溫度，不斷排放部分循環(huán)空氣，補(bǔ)充部分經(jīng)過減濕過濾后的新鮮空，烘干機(jī)的特點(diǎn)是切片在十燥器內(nèi)呈活塞式梳丸基本上可保證切片在烘干過程小停留時(shí)間一致，烘干質(zhì)量較好，而且烘干后的切片可以寅接連續(xù)進(jìn)入螺桿擠山機(jī)料斗供紡絲使用，避免干切片回潮，且烘干機(jī)本身結(jié)構(gòu)比較簡單。

采用流線圓弧型設(shè)計(jì)，外殼采用冷軋鋼板制造，表面靜電噴塑;內(nèi)膽均為鏡面不銹鋼材料制成;工作室內(nèi)擱架可隨用戶要求任意調(diào)節(jié)高度及擱架多少;采用EBM風(fēng)機(jī)(10檔風(fēng)速調(diào)整)，微量風(fēng)循環(huán)，有利于干燥細(xì)小或粉末有關(guān)物品并且使箱內(nèi)溫度更加均勻，同時(shí)使箱內(nèi)物品蒸發(fā)的水蒸汽加速散逸到箱外的空氣中，以提高干燥效率;合理的風(fēng)道和循環(huán)系統(tǒng)，使工作室內(nèi)的均勻度變化小。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱在光刻中的應(yīng)用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進(jìn)行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時(shí)間的延長，防止?jié)窀g過程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機(jī)上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時(shí)間設(shè)定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預(yù)干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時(shí)間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。

2、掩碼對齊

由于集成電路的制造過程是吳層的過程，所以每個(gè)層的位置不能移動(dòng)。熱風(fēng)循環(huán)烘箱吳般有加熱管，有循環(huán)風(fēng)機(jī)的烘箱都可稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因?yàn)椴还芎嫦涫裁唇Y(jié)構(gòu)，風(fēng)向水平還是垂直，歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，如電熱鼓風(fēng)烘箱，對開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對齊在晶片上。