Parylene氣相沉積涂敷工藝

　 在微電子領(lǐng)域，近些年P(guān)arylene應(yīng)用發(fā)展較快，真空氣相沉積制備的Parylene不僅可制精細(xì)尺寸的涂層，而且該涂層可用微電子的加工工藝進(jìn)行刻蝕加工圖形。它除了作為微電子器件鈍化材料、引線加固封裝材料外，在微米以下超大規(guī)模集成電路制作中,還作為一種低介電常數(shù)材料用作集成電路的介電材料,特別是氟代Parylene，更被國外集成電路研究者所青睞，用作多層集成超大規(guī)模集成電路的層間絕緣介質(zhì)。 　　 　　Parylene氣相沉積涂敷工藝涂敷時，在工作上有很強(qiáng)的滲透性，能滲透到SMT貼片工件的底部和工作表面疏松的毛細(xì)孔中，真正形成完全敷形，均勻一致的防護(hù)涂層。Parylene氣相沉積涂敷工藝沒有溶劑、助劑，即使在0.1微米厚也沒有，氣態(tài)小分子在工作表面直接聚合成固態(tài)的涂層薄膜，沒有通常涂層的固化過程和固化引起的收縮應(yīng)力，對工件能進(jìn)行表面加固，但不會引起傷害，也沒有因表面張力而引起的涂層彎月面狀不均勻。

        鐵氧體磁性材料及稀土永磁：高導(dǎo)磁軟磁鐵氧體小磁芯以其體積小、性能高、用量大、市場前景好被我國磁性材料行業(yè)作為今后10-15年的發(fā)展產(chǎn)品。這些產(chǎn)品的表面采用Parylene來涂上一層保護(hù)層，以增強(qiáng)產(chǎn)品表面的絕緣性、堅(jiān)固性、光滑性。這種涂層是傳統(tǒng)的還氧噴涂所沒有的；稀土永磁產(chǎn)品在汽車、音箱、磁療、電機(jī)等領(lǐng)域的運(yùn)用大。但是這類產(chǎn)品表面的耐腐蝕要求非常高。普通的電鍍、電泳處理的后的產(chǎn)品的耐鹽霧時間能達(dá)到70-100小時。而采用Parylene可以達(dá)到300-500小時。其耐腐蝕時間是前者的4-5倍。磁性材料（絕緣、防銹、防線傷、填補(bǔ)穩(wěn)定特性制作）。

       Parylene可以改變橡膠制品的表面特性，改變橡膠制品的摩擦性能、觸感、耐化學(xué)藥品溶脹、耐靜穿性能等。

       硅橡膠經(jīng)Parylene Coating后可以在硅膠按鍵產(chǎn)品的表面形成的一種均勻而極?。?-3 μm）、且與原產(chǎn)品表面輪廓相同的聚合物保護(hù)層。經(jīng)過Parylene后的產(chǎn)品，具有良好的屏障特性、光學(xué)性能、熱性能以及良好的抗磨擦能力，使用壽命延長。

       密封墊：儲油、儲氣裝置上的密封墊的表面經(jīng)過Parylene Coating后，可以起到防泄漏的作用。