相對濕度在35%－40%之間能夠作為一個令人滿意的折中，半導體無塵車間、潔凈室一般都運用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學反響的速度，包含腐蝕的進程，將跟著相對濕度的zeng高而加速。一切暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時，高濕度能夠使反響加速。幸運的是，一些金屬，例如鋁，能夠與水構成一層維護形的氧化物，并阻止進一步的氧化反響；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有維護才能的，因而，在高濕度的環(huán)境中，銅制外表更容易遭到腐蝕。

凈化工程中無塵車間對潔凈度的要求,空氣處理系統(tǒng)潔凈室的通風一般是為了消除室內的各種污染物。這樣做不僅是為了形成對產品和工藝安全的環(huán)境，也是為了形成使工作人員滿意的工作環(huán)境。無塵車間的通風可用兩種不同的方法：傳統(tǒng)氣流系統(tǒng)與單向氣流系統(tǒng)。在一般所使用的傳統(tǒng)氣流系統(tǒng)中，送風是由室內不同位置的一個或多個過濾器(或其他種類的過濾器)完成的。單向流系統(tǒng)(也稱為層流系統(tǒng)LAF或UDF)中，是通過布滿整個吊頂(垂直流潔凈室)或整面墻(水平流潔凈室)的過濾器(或其他類型的過濾器)送風。

在凈化工程中過濾器一直起著很大的作用，凈化級別和過濾器的過濾效率直接相連，對于只有普通凈化級別要求的一般配置亞過濾器。而對特殊凈化室相應的在末端配置過濾器。為了提高末端過濾器的使用壽命凈化空調循環(huán)機組應采用三級過濾的形式。節(jié)能措施 為了提高能源利用率，在系統(tǒng)設計中注意節(jié)能技術的應用，排風機也相應地開啟，這樣就可根據風量的不同而采用不同轉速，從而達到節(jié)電的目的。采用顯熱回收的方法回收排風系統(tǒng)中的廢能量，用以預冷預熱新風，從而減小新風機的能量消耗，達到節(jié)能的目的。也有采用卡薩巴全熱回收裝置對新排風進行處理的，該裝置集能量回收和殺菌消毒于一體，通過化學溶液噴淋來實現能量的轉換和消毒的作用。從而實現預冷和預熱新風的目的。調節(jié)新排風比率，保持室內正壓，達到正壓要求；設置故障報警信號對過濾器堵塞進行報警。

凈化工程車間的防靜電處理,1.使用離子風槍、離子頭、離子棒等設施，使在一定范圍內防止靜電產生。2.半導體器件應盛放在防靜電塑料盛放器或防靜電塑料袋中，這種防靜電盛放器有良好導電性能，能有效防止靜電的產生。當然，有條件的應盛放在金屬盛放器內或用金屬箔包裝。3.對于操作人員應在手腕上帶防靜電手帶，這種手帶應有良好的接地性能，這種措施極為有效。