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發(fā)布時間:2020-09-07 13:21  
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層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風,1塵埃隨風向排出室外,一般在下流側(cè)污染較嚴重。
優(yōu)點:構(gòu)造簡單,運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。
缺點:建造費用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴充。
(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。
20世紀80年代大規(guī)模集成電路和超大規(guī)模集成電路的迅速發(fā)展,大大促進了潔凈工程的發(fā)展,集成電路生產(chǎn)工程從64K位到4M位,特征尺寸從2.04m到0.84m。當時根據(jù)實踐經(jīng)驗,通??諝鉂崈羰芸丨h(huán)境的控制塵粒粒徑與線寬的關(guān)系為1:10,因此潔凈工程工作者研制了超空氣過濾器,可將粒徑>0.1pm的微粒去除到規(guī)定范圍。根據(jù)大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的需要,高純氣體、高純水和高純試劑的生產(chǎn)工程也得到很快的發(fā)展,從而使服務(wù)于集成電路等高工程產(chǎn)品所需的潔凈工程都得以高速發(fā)展。

ps:技術(shù)人員應(yīng)提前了解如下幾點
(1)項目類型:是改造還是新建項目;
(2)結(jié)構(gòu)類型:鋼結(jié)構(gòu)、鋼筋混凝土框架結(jié)構(gòu)、磚混結(jié)構(gòu);
(3)土建參數(shù):層高、板底標高、梁底標高;
(4)現(xiàn)有條件:水、電、路三通情況如何;
(5)潔凈室項目主要情況(用途、生產(chǎn)規(guī)模、現(xiàn)代化程度、設(shè)備情況、人員安排);
一個好的凈化工程,不僅有好的規(guī)劃布局、高的操作標準,更要有可靠的工程團隊、的施工進度。選擇專業(yè)的廠房裝修公司,經(jīng)費就花對了一大半。