無(wú)塵車間潔凈室管理制度

1 半導(dǎo)體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行，在施工中必須遵循行業(yè)規(guī)則和程序。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。為了保證項(xiàng)目的成功，現(xiàn)場(chǎng)的每一位人員都必須遵守。

2 圖紙上對(duì)于施工的潔凈建設(shè)草案將被強(qiáng)制執(zhí)行。這包括除了原料和成品倉(cāng)庫(kù)以外的所有主廠房?jī)?nèi)的地方。

3 潔凈室施工管理制度目前主要針對(duì)一期主廠房?jī)?nèi)的局部改造和擴(kuò)建，后期所有潔凈室施工項(xiàng)目仍按照本制度規(guī)定的原則進(jìn)行管理。

實(shí)力公司用案例說話，全國(guó)各地竣工潔凈、凈化、無(wú)塵車間、廠房工程眾多，免費(fèi)咨詢、設(shè)計(jì)，可就近安排去感興趣的工程項(xiàng)目實(shí)地參觀考察

無(wú)塵室內(nèi)生產(chǎn)制造設(shè)備應(yīng)注意的重點(diǎn)

1.生產(chǎn)設(shè)備之選擇、布置與保養(yǎng)：

a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備，尤其須注意活動(dòng)部分之發(fā)塵。

b.應(yīng)選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。

c.生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應(yīng)配備過濾裝置。

d.規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時(shí)，事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu)，規(guī)劃各并以容易清潔為原則。

e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設(shè)備，應(yīng)設(shè)置在無(wú)塵室外面或回風(fēng)區(qū)，并加裝排氣管線排氣。

f.設(shè)置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時(shí)，其構(gòu)造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。

g.生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定期清掃，以避免微塵之堆積。

h.應(yīng)加強(qiáng)注意室內(nèi)的溫濕度控制，避免因濕度之不當(dāng)造成結(jié)露生銹。

i.當(dāng)設(shè)備維修時(shí)易產(chǎn)生微塵粒子，故維修時(shí)盡量于清潔室外進(jìn)行，并加隔離柵隔離。

j.對(duì)于施工或維修之廠商，應(yīng)告知進(jìn)出無(wú)塵室之各項(xiàng)規(guī)定，且負(fù)責(zé)工程師應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工。

k.應(yīng)有無(wú)塵室工具組，但不得帶出無(wú)塵室外使用。

l.規(guī)劃空間時(shí)若能臨近無(wú)塵室設(shè)立一間維修和設(shè)備保養(yǎng)手冊(cè)置放室，將是一理想之規(guī)劃。

無(wú)塵車間凈化工程的凈化原理

氣流→初效空氣處理→空氣調(diào)節(jié)→中效空氣處理→風(fēng)機(jī)加壓送風(fēng)→凈化送風(fēng)管道→送風(fēng)口→潔凈室→帶走塵埃 → 回風(fēng)夾道→新風(fēng)、初效空氣處理。  

重復(fù)以上過程，即可達(dá)到凈化目的。  

技術(shù)參數(shù)  

換氣次數(shù)：十萬(wàn)級(jí)10－15次/小時(shí)；  

萬(wàn)級(jí)15－25次/小時(shí)；  

千級(jí)50－52次/小時(shí);  

百級(jí)操作臺(tái)斷面風(fēng)速0.25-0.35m/s；  

壓差：主車間對(duì)相鄰潔凈房間≥5Pa；潔凈房間對(duì)非潔凈區(qū)≥10Pa；  

溫度:冬季＞16℃±2℃；夏季 ＜26℃±2℃；  

相對(duì)濕度：45－65％（RH）；  

噪聲≤65dB（A）；  

新風(fēng)補(bǔ)充量：總送風(fēng)量的20％－30％；    

照度：≥300Lux。  

結(jié)構(gòu)材料  

1.潔凈室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化的氧化鋁型材制造。門采用凈化密閉門，窗采用鋁合金玻璃固定窗。  

2.地面采用環(huán)氧自流平或耐磨塑料潔凈地板。  

3.凈化通風(fēng)管道選用鍍鋅薄鋼板制作，并采用“PEF”阻燃型的保溫板做保溫。

伴隨著現(xiàn)代社會(huì)高層樓宇的不斷崛起，寫字樓、飯店、賓館、商廈中逐漸廣泛采用空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)，它的便捷舒適受到人們的普遍歡迎，有人還形象的將中央空調(diào)稱之為現(xiàn)代建筑的“肺”。6、pvc防靜電地板該產(chǎn)品是以pvc樹脂為主體，經(jīng)特殊加工工藝制作而成，pvc粒子界面間形成導(dǎo)靜電網(wǎng)絡(luò)，具有防靜電功能。但是，近年來，隨著人們生活質(zhì)量的提高，加之媒體對(duì)使用空調(diào)造成傷害的報(bào)道，有越來越多的人開始認(rèn)識(shí)到，樓宇之“肺”也會(huì)成為xi菌孿生的溫床。針對(duì)這一現(xiàn)象，蘇州華凈空調(diào)凈化工程安裝有限公司用多年的努力為空調(diào)凈化作出突出貢獻(xiàn)。