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發(fā)布時(shí)間:2020-12-29 07:03  
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非標(biāo)定制各種真空腔體
1.腔體常規(guī)材質(zhì):不銹鋼304,可定制不銹鋼316、316L腔體,弧焊接,表面特殊工藝,拋光處理,外表美觀,
2.按ISO9001質(zhì)量管理體系組織設(shè)計(jì)、加工、裝調(diào)、檢驗(yàn)、包裝、運(yùn)輸;
3.提供該設(shè)備的技術(shù)檢測報(bào)告;
4. 腔體設(shè)有快開進(jìn)樣門,鉸鏈機(jī)構(gòu),移動靈活,快開門密封件材質(zhì)采用氟橡膠;
5. 法蘭接口、腔體大小根據(jù)客戶需求定制;
6. 腔室內(nèi)外徹底超聲波清洗,表面清潔;
6. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;
8. 配合適的真空系統(tǒng),真空度可進(jìn)入10-6Pa;
9. 供貨周期:確認(rèn)方案后5到6周;
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真空腔體的優(yōu)勢及特性
——按照客戶要求,加工訂制;
——專業(yè)出圖設(shè)計(jì);
——可配套固定真空機(jī)組系統(tǒng);
——耐高溫、耐腐蝕;
——高質(zhì)量、高精度;
加工工藝,完全采用真空焊接技術(shù)拼裝焊接;
先進(jìn)的真空撿漏設(shè)備,更加保證產(chǎn)品的優(yōu)越性;
超高真空主要應(yīng)用在離子鍍膜、高真空半導(dǎo)體設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備等對環(huán)境要求極高的真空領(lǐng)域。
真空腔體制造技術(shù)介紹
真空腔體在薄膜涂層、微電子、光學(xué)器件和材料制造中,是一種能適應(yīng)高真空環(huán)境的特殊容器。真空腔體通常包括一系列部品——如鐘形罩、基板、傳動軸以及輔助井——這些構(gòu)成一個(gè)完整的真空腔體。
復(fù)雜的真空腔體通常需要定制,即針對應(yīng)用終端進(jìn)行專門的設(shè)計(jì)和制作。某些常見的真空腔體已經(jīng)過預(yù)先設(shè)計(jì),如手套箱、焊接室、脫氣箱、表面分析真空腔等。例如脫氣箱和手套箱一般采用低真空環(huán)境,可用于焊接,或用于塑料制品、復(fù)合材料層壓板、封裝組件等的脫氣。
真空腔體中抽氣管道的設(shè)計(jì)原則
為一個(gè)工藝選擇真空泵時(shí),工藝室和泵之間的抽氣管道可能和泵的選擇一樣重要。要使腔體抽氣速率達(dá)到大,需要筆直的抽氣管道(長度短)并使用直徑盡可能大的管道。
看起來似乎很簡單,但是這里有許多因素需要考慮。實(shí)際上,如果我們從物理學(xué)角度考慮,就可以明確哪些是關(guān)鍵因素。真空腔體
在穩(wěn)定狀態(tài)的條件下,如果抽氣管道內(nèi)沒有氣源(泄漏)或氣體減少(冷凝),抽氣管道任何截面的質(zhì)量流量必須相同。簡單而言,進(jìn)入工藝室的氣體必須從泵出來。
已知?dú)怏w摩爾流量為M(公斤/摩爾)、抽氣速率為S(立方米/秒)、壓力為P(帕)、溫度為T(開爾文),則質(zhì)量流量計(jì)算如下:
質(zhì)量流量(公斤/秒)=(M*P*S)/(Ro*T)
Ro=通用氣體常數(shù)
對于大多數(shù)抽氣系統(tǒng)而言,氣體溫度(T)在抽氣管道中不會顯著減少,而且可以合理地假定為恒定的。
在此情況下,抽氣管道任何截面(P*S)的乘積(稱為通量)相同。真空腔體
由于抽氣管道的壓力差是氣體流動的推動力,可見壓力(P)必須在工藝室中為高值,在泵入口為低值。
由于我們假定通量恒定,可見抽氣速率(S)在工藝室為小值,在泵入口為大值(等于泵速)。