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愛(ài)德華分子泵維修代理分子泵換油「潽拓光電」

發(fā)布時(shí)間:2021-08-15 13:01  

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廣州潽拓光電科技——


氣體輸送能力強(qiáng)

  大多數(shù)渦輪分子泵對(duì)于輸送輕氣體(如氫、氦)的能力很強(qiáng)。因而它非常適于超高真空下的工藝操作。對(duì)于那些富氫的工藝過(guò)程,氦質(zhì)譜檢漏儀等場(chǎng)合均可得到應(yīng)用。有專門設(shè)計(jì)用于抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵,適用于刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕,離子束加工,低壓化學(xué)氣相沉積,外延及離子注入等工藝操作。主動(dòng)軸上有三個(gè)軸承,增加了泵的加工和裝配難度,齒輪的拆裝及調(diào)整也不便。




分子泵清洗的方法如下:

1.關(guān)掉分子泵,進(jìn)行排氣。

2.從機(jī)器上拆下分子泵,注意不要碰到接口的邊緣部分。

3.拆掉冷卻器、加熱器(如果有的話)等

4.拆掉潤(rùn)滑的油包

5.將分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一個(gè)適合的容器中。







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         真空技術(shù)的全球 Edwards 推出了 nEXT 渦輪分子泵。 nEXT 汲取成熟、可靠的 EXT 和 STP 系列(超過(guò) 200,000 臺(tái)在實(shí)際運(yùn)行)累積的十年經(jīng)驗(yàn),為科學(xué)渦輪泵樹(shù)立了新的。nEXT 平臺(tái)實(shí)現(xiàn)高度的模塊化,為滿足客戶應(yīng)用和需求提供了靈活性。 每臺(tái)泵都提供兩種不同的內(nèi)部配置,以實(shí)現(xiàn)不同的性能。泵是獲得真空的基本設(shè)備,它可單獨(dú)使用,亦可作為各類高真空的系統(tǒng)的前綴泵和預(yù)抽泵。

        它們采用 24V 到 48V 直流無(wú)傳感器電機(jī),具備內(nèi)置的驅(qū)動(dòng),與我們的 TAG 和 TIC 系列控制器完全兼容。 該分子泵有 80W 和 160W 兩種預(yù)設(shè)功率可選。前者適用于我們的 100W TIC 控制器,也是泵送氣時(shí)的建議選擇,但該功率下達(dá)到完全運(yùn)行速度的加速時(shí)間比較長(zhǎng)。(4)旋片式真空泵的返油設(shè)計(jì)為了避免真空泵的返油,旋片泵在進(jìn)氣通首作特殊設(shè)計(jì),能防止停泵后泵油返流而污染被抽空器及管路。



性能特點(diǎn):

       的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì),可以實(shí)現(xiàn)的抽速和壓縮比維護(hù)簡(jiǎn)便,用戶可以在短時(shí)間內(nèi)完成維護(hù),無(wú)需復(fù)雜的工具或拆卸設(shè)計(jì)緊湊,性能,可以實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)化與Edwards TIC渦輪儀表控制器兼容,可加3個(gè)真空規(guī),而無(wú)需額外控制器符合RoHS,并通過(guò)CSA/UL認(rèn)可。