氦質(zhì)譜檢漏儀光無源器件檢漏

光無源器件是不含光能源的光能器件的總稱。3）電力行業(yè)中，電廠的檢漏、高壓變壓器、高壓電容器、高壓開關管及其它元器件也都相應的采用氦質(zhì)譜檢譜檢漏儀，用不同方法進行檢漏。光無源器件在光路中都要消耗能量，插入損耗是其主要性能指標。光無源器件有光纖連接器、光開關、光衰減器、光纖耦合器、波分復用器、光調(diào)制器、光濾波器、光隔離器、光環(huán)行器等。它們在光路中分別實現(xiàn)連接、能量衰減、反向隔離、分路或合路、信號調(diào)制、濾波等功能。本文主要介紹氦質(zhì)譜檢漏儀在無源器件中的檢漏應用。

光無源器件是不含光能源的光功能器件的總稱。此款氦質(zhì)譜檢漏儀堅固耐用，抗震性能極強，可反復使用數(shù)年仍保證高精度的檢漏漏率。光無源器件在光路中都要消耗能量，插入損耗是其主要性能指標。光無源器件有光纖連接器、光開關、光衰減器、光纖耦合器、波分復用器、光調(diào)制器、光濾波器、光隔離器、光環(huán)行器等。它們在光路中分別實現(xiàn)連接、能量衰減、反向隔離、分路或合路、信號調(diào)制、濾波等功能。本文主要介紹氦質(zhì)譜檢漏儀在無源器件中的檢漏應用。

無源器件檢漏原因：光無源器件是光纖通信設備的重要組成部分，也是其它光纖應用領域不可缺少的元器件。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。具有高回波損耗、低插入損耗、高可靠性等特點。光無源器件對密封性的要求極高，如果存在泄漏會影響其使用性能和精度，光通信行業(yè)的漏率標準是小于 5×10-8  mbar.l/s，因此需要進行泄漏檢測。氦質(zhì)譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可準確定位，定量漏點，替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏，目前已廣泛應用于光無源器件的檢漏。

用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體）的原則是：它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低；檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高；它不會對人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患；價格低。

質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：

1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應出來，靈敏度高。

2、氦的質(zhì)量?。ㄏ鄬Ψ肿淤|(zhì)量為4），易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度高。

3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學反應，不會污染被檢件，使用安全。

4、在氦兩側(cè)的是氫（質(zhì)荷比為2）和雙電荷原子碳（質(zhì)荷比為6），質(zhì)荷比都與氦相差較大。3）航天工業(yè)中、各類閥門、電子元器件，傳感器等等都在廣泛應用氦質(zhì)譜檢漏儀及其檢漏技術(shù)。這樣，它們在分析器中的偏轉(zhuǎn)半徑相差也大，容易分開，定標找氦峰時，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對分析器制造精度的要求，易于加工。同時，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。

5、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續(xù)進行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能（如質(zhì)量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有易1爆危險，另一方面在油擴散泵中，由于油受熱裂解會產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

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檢漏儀常規(guī)的維護

適當?shù)木S護您的檢漏儀是非常必要的，具體步驟如下：

1、探頭清潔：利用附送的防護罩防止灰塵、水汽和油脂阻塞探頭，在使用本儀器前，均要檢查探頭和防護罩確無灰塵或油脂。

2、拉下防護罩；

3、用工業(yè)毛巾或壓縮空氣清潔防護罩；

4、如果探頭本身也臟，可浸入像酒精等溫和清洗劑幾秒鐘，然后用壓縮空氣或工業(yè)毛巾清潔，嚴禁用像礦物油等溶劑，這樣易降低儀器靈敏度。

5、探頭更換：探頭終總要失效，需更換。由于探頭壽命直接和使用條件和頻次相關，因此較難預計準確的更換時間。當在清潔、純凈空氣中報警或不穩(wěn)定時，應更換探頭，具體探頭步驟是如下：

（1）確認本儀器處于關閉狀態(tài)

（2）逆時針旋下舊探頭

（3）順時針旋上包裝箱中提供的備用探頭。

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氦質(zhì)譜檢漏儀的校準方法

氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛應用于制冷行業(yè)、核工業(yè)、電子行業(yè)、真空行業(yè)、電力行業(yè)、航空航天等行業(yè)。根據(jù)其工作原理和技術(shù)性能指標，通過實驗，總結(jié)通過氦質(zhì)譜檢漏儀對其漏率校準的方法。

氦質(zhì)譜檢漏儀原理:

氦質(zhì)譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質(zhì)譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離，根據(jù)不

氦質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)和電氣部分等組成。

氦質(zhì)譜檢漏儀的內(nèi)部一般有標準漏孔，可將標準漏孔拆卸進行校準，如果不能單獨校準標準漏孔，就可考慮直接通過氦質(zhì)譜檢漏儀進行漏率部分的校準，本文主要討論這種情況下氦漏率的校準方法。

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