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可由三甲基氯硅烷與NH3反應來制取。用作氣相法白炭黑表面疏水處理劑及有機合成反應中提供N原子的試劑，還可用作碳化硅纖維的助劑，提高碳化硅纖維的耐熱性和強度，還可用作涂料的防沉淀劑。并用于制備有機硅化合物。

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山東乾匯億化學有限公司位于“中國膜谷”之稱的淄博市桓臺縣東岳氟硅材料產(chǎn)業(yè)園創(chuàng)智谷。

六甲基二硅烷[(CH3)3SiSi(CH3)3]，縮寫HMDS，主要用做，用于制備三甲基硅基陰離子、三硅烷和三甲基硅基堿金屬鹽及合成中基團的保護劑。此外，由于富含Si、C元素，在光電子行業(yè)和陶瓷行業(yè)也有一定的應用。

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六甲基二硅氧烷是重要的有機硅化合物，在有機硅化學及有機合成領域應用廣泛。六甲基二硅氧烷作為封頭劑、清洗劑和脫模劑，主要用于有機化工及化工生產(chǎn)中。另外，六甲基二硅氧烷可以很大程度降低六甲基二硅氮烷的生產(chǎn)成本、并提高其產(chǎn)率。

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CN201210187164.0公開了三甲基硅咪唑的制備工藝，具體步驟為：(1)反應：首先在攪拌釜內投入三甲基一氯硅烷，然后在攪拌下分批添加咪唑，要求在3小時內添加完成；反應在-200~0mm柱下進行，溫度控制在60℃以下。

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