在粉塵較多的真空工藝如何選擇真空泵，才能讓真空泵既能夠滿足工藝要求，同時(shí)又能夠長(zhǎng)期穩(wěn)定的運(yùn)行，延長(zhǎng)真空泵維修維保時(shí)間，節(jié)約運(yùn)行成本，保證生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)效率，保證設(shè)備產(chǎn)能。

在CVD、PECVD、ALD等工藝中，真空腔體會(huì)通入各種各樣的工藝氣體來(lái)完成產(chǎn)品表面薄膜工藝，這些工藝氣體在反應(yīng)過(guò)程中有時(shí)會(huì)大量粉塵或容易結(jié)晶，如果粉塵和結(jié)晶物不能及時(shí)排除真空泵外，就容易在真空泵內(nèi)沉積，堆積到一定量時(shí)就會(huì)造成真空泵葉輪、轉(zhuǎn)子等卡滯，需要及時(shí)下機(jī)保養(yǎng)和維護(hù)，否則的話就會(huì)造成真空泵的更大的損壞，但是干式泵的維護(hù)成本又比較昂貴，選擇一臺(tái)耐粉塵，維保周期長(zhǎng)的真空泵是非常重要的。

無(wú)油節(jié)能真空泵

該泵不適用于抽除對(duì)黑色金屬有腐蝕的，對(duì)泵油起化學(xué)反應(yīng)的，低壓無(wú)油節(jié)能真空泵公司，含有顆粒塵埃的氣體，以及含氧過(guò)高，低壓無(wú)油節(jié)能真空泵哪家好，有性的有毒氣體。更不能作為傳輸泵（即從一個(gè)容器抽送到另一個(gè)容器）使用。

極限真空高（4.5—15mmHg）。

無(wú)油潤(rùn)滑，可獲得清潔真空，有利于尾氣的潔凈回收。

節(jié)能（33%），節(jié)水（50%），節(jié)省占地面積（66%）。

氣閥使用壽命長(zhǎng)（4-10倍）。

振動(dòng)小，噪音低。

外形簡(jiǎn)潔美觀，易于操作、裝拆方便。

采用全無(wú)油結(jié)構(gòu)及四氟類密封材料、能耐各種。

真空泵改造

許多化肥企業(yè)淘汰了振動(dòng)噪聲大而真空度較高的往復(fù)真空泵，低壓真空泵節(jié)能改造多少錢，用兩級(jí)水環(huán)式真空泵替代，并收到了較好的效果，可以說(shuō)兩級(jí)水環(huán)式真空泵在該行業(yè)應(yīng)用將會(huì)越來(lái)越廣泛。正確地組合真空泵。因?yàn)楦鞣N真空泵的性能不同，低壓真空泵節(jié)能改造報(bào)價(jià)，因而有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來(lái)，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。