石英撓性加速度計(jì)是測(cè)量線加速度的高精度傳感器,在慣性導(dǎo)航系統(tǒng)中具有重要的作用。然而石英撓性加速度計(jì)在使用時(shí)容易導(dǎo)致石英擺片撓性梁的斷裂,磁感應(yīng)強(qiáng)度容易受時(shí)間、溫度等環(huán)境因素的影響導(dǎo)致測(cè)量產(chǎn)生不穩(wěn)定性現(xiàn)象。石英撓性加速度計(jì)的兩部分關(guān)鍵技術(shù):一方面根據(jù)石英擺片進(jìn)行了受力計(jì)算和有限元應(yīng)力分析,改進(jìn)了石英擺片的結(jié)構(gòu),并對(duì)石英擺片進(jìn)行了加工實(shí)驗(yàn);另一方面對(duì)力矩器進(jìn)行了設(shè)計(jì),運(yùn)用ANSYS分析得出了力矩器的磁場(chǎng)分布,并且驗(yàn)證了工作間隙的磁感應(yīng)強(qiáng)度及電磁力的大小。

對(duì)加速度計(jì)的測(cè)試通常采用基于PC104總線的測(cè)試系統(tǒng)，或者基于PXI總線技術(shù)的測(cè)試系統(tǒng)。前者的優(yōu)點(diǎn)在于，能同時(shí)進(jìn)行多通道測(cè)量，測(cè)量速度快，容易實(shí)現(xiàn)加速度計(jì)的動(dòng)態(tài)誤差系數(shù)標(biāo)定；后者優(yōu)點(diǎn)在于通用性強(qiáng)，模塊化程度高，軟件編程兼容性好。但是兩者都存在一定的缺點(diǎn)：基于PC104總線的測(cè)試方案需要采用高精度的模數(shù)轉(zhuǎn)換板，并且要增加相關(guān)的信號(hào)調(diào)理電路；而基于PXI總線技術(shù)的測(cè)試方案成本較高。目前，隨著總線技術(shù)的日趨成熟，由于接口編程方便、開發(fā)使用靈活，CPIB通用接口總線成為了目前應(yīng)用較為廣泛的測(cè)試總線?；谏鲜鲈?，為有效提高測(cè)試效率和自動(dòng)化水平，設(shè)計(jì)采用基于GPIB總線的加速度計(jì)自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)。

石英撓性加速度傳感器的性能指標(biāo)；測(cè)量精度高，重復(fù)性佳，開環(huán)石英撓性加速度計(jì)可靠性高體積小，重量輕寬壓供電，功耗低。模擬電信號(hào)輸出技術(shù)指標(biāo)技術(shù)性能量程±60g閾值(分辨率)1×10-5g偏值（K0）＜4mg偏值（K0）溫漂＜40μg/℃偏值（K0）年穩(wěn)定性1mg標(biāo)度因數(shù)（K1）1.2～1.46mA/g 。此石英撓性加速度計(jì)的使用場(chǎng)景、飛機(jī)、艦艇、戰(zhàn)車、水下等制導(dǎo)系統(tǒng)必須要有速度和位置信息，在要求低的場(chǎng)合人們使用空速度計(jì)、馬赫數(shù)傳感器、里程計(jì)等。石英撓性加速度計(jì)是目前慣性技術(shù)領(lǐng)域中應(yīng)用廣、發(fā)展快的慣性器件。在工作環(huán)境溫度恒定條件下，石英撓性加速度計(jì)測(cè)量精度較高。但由于結(jié)構(gòu)不完善，當(dāng)工作環(huán)境溫度變化或者自身工作發(fā)熱時(shí)將導(dǎo)致其零偏和刻度因數(shù)不穩(wěn)定，進(jìn)而影響慣導(dǎo)系統(tǒng)精度。針對(duì)溫度變化影響石英撓性加速度計(jì)測(cè)量精度問(wèn)題，國(guó)內(nèi)外眾多學(xué)者從控制工作環(huán)境溫度、進(jìn)行溫度補(bǔ)償及改善工藝技術(shù)等方面已作了大量的研究，但對(duì)于石英撓性加速度計(jì)熱-結(jié)構(gòu)變形的研究還不夠深入。