潔凈室(區(qū))內設置真空泵時,應符合下列規(guī)定

潔凈室（區(qū)）內設置真空泵時，應符合下列規(guī)定：1．電子工廠裝修對于傳輸、自燃化學品或高濃度氧氣的真空泵，應采用不燃泵油，并應配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應與生產工藝設備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。2．對傳輸含有可燃氣體的真空泵，可燃氣體濃度超過下限的20%時，應設尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應去除或稀釋可燃氣體組分。3．使用油潤滑的真空泵應設置除油裝置，除油后尾氣應排入排氣系統(tǒng)。

智能平臺:潔凈系統(tǒng)中的風量控制

智能平臺：潔凈系統(tǒng)中的風量控制采用文丘里閥門，實時監(jiān)控流量及狀態(tài)，可在線診斷。并可以維持房間壓力、溫度、濕度的平穩(wěn)可靠。中控室中把空調、特氣、純水、監(jiān)控、房間溫濕度等參數(shù)集成管理、顯示、儲存，并對數(shù)據(jù)進行打印輸出及溯源查找。并經設備輸出在參觀通道播放，方便參觀。弱電系統(tǒng)工程：高清視頻監(jiān)控系統(tǒng)空調動力電工程：統(tǒng)計總用電量約830KW，空調用電約330KW。動力（鍍鋅線槽）沿墻體及天花敷設，再分至車間及設備電箱，安裝在樓板下。主電纜采用YJV型號。

生物潔凈室使用注意事項

潔凈室使用的木材的含水率不應大于16%，并且不得外露使用。由于潔凈室換氣次數(shù)大，相對濕度低，如大量使用木材，易干裂、變形、松動、產生灰塵等，即使用也要局部使用，并且一定要做好防腐防潮處理。一般潔凈室需用石膏板時必須用防水石膏板，而對于生物潔凈室由于經常用水擦洗和用消毒液沖洗，即使防水石膏板也要受潮變形，不耐沖洗，所以規(guī)定生物潔凈室不應采用石膏板作罩面材料。