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發(fā)布時間:2021-09-19 04:47  
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什么是流量控制器
質(zhì)量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有質(zhì)量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進行流量設(shè)定,MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設(shè)定值。想要了解更多熱式質(zhì)量流量控制器的相關(guān)內(nèi)容,請及時關(guān)注厚禮博網(wǎng)站。質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細(xì)管測量氣象色譜儀,光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點:精度高,重復(fù)性好。
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流量控制器的性能參數(shù)
流量控制器的特點是:當(dāng)自力式流量控制閥進口、出口壓差變化時,通過自力式流量控制閥的流量恒定不變。
流量控制器的性能參數(shù)有:流量控制精度、工作壓差范圍、啟動壓差
工作壓差范圍指的是當(dāng)流量控制器進口、出口壓差變化在多大范圍時,能保持通過流量控制器的流量恒定不變。質(zhì)量流量計,即MassFlowMeter(縮寫為MFM),是一種準(zhǔn)確測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn),不需要溫度壓力補償。行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定工作壓差范圍0.03-0.3MPa,A類產(chǎn)品工作壓差范圍達(dá)到0.03-0.4MPa。工作壓差范圍的大小取決于自力式流量控制閥的設(shè)計。
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流量控制器安全使用準(zhǔn)則
①質(zhì)量流量控制器應(yīng)用的成功與否,與安裝有直接關(guān)系。若在其進口端裝一塊或二快多孔板式流動調(diào)整器(整流器)后,則其長度可大為縮短。除正常安裝要求外,要特別注意減少振動影響,因為質(zhì)量流量控制器是基于振動原理工作的,外加振動會引入干擾。但盡可能小的外界干擾對測量無疑是有益的,所以對來自管線及現(xiàn)場環(huán)境的振動要盡量設(shè)法避免。
②儀表使用過程中在使用條件下有必要進行準(zhǔn)確的零點標(biāo)定,質(zhì)量流量控制器屬于在線使用的高度測量儀表,零點的漂移對測量結(jié)果有影響,長期使用時一定要定期進行標(biāo)定。
③一定要避免超過使用質(zhì)量流量控制器范圍的情況發(fā)生,這會引起儀表測量度的下降,嚴(yán)重時會導(dǎo)致儀表損壞。例如由于超過儀表使用溫度范圍的蒸汽掃線等操作,將會使檢測線圈損壞而使儀表無法再使用。
④質(zhì)量流量控制器度高,其價格也很高,這就要求對其精心維護,如給其配備高質(zhì)量的穩(wěn)壓電源,對現(xiàn)場的振動及使用條件進行經(jīng)常檢查等,以保證度及儀表的安全。
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