激光束聚焦成很小的光點(diǎn)其小直徑可小于0.1mm），使焦點(diǎn)處達(dá)到很高的功率密度可超過106W／cm2)。這時(shí)光束輸入（由光能轉(zhuǎn)換）的熱量遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過被材料反射、傳導(dǎo)或擴(kuò)散部分，材料很快加熱至汽化濕度，蒸發(fā)形成孔洞。隨著光束與材料相對(duì)線性移動(dòng)，使孔洞連續(xù)形成寬度很窄（如0.1mm左右）的切縫。切邊熱影響很小，基本沒有工件變形。

     切割過程中還添加與被切材料相適合的輔助氣體。鋼切割時(shí)得用氧作為輔助氣體與溶融金屬產(chǎn)生放熱化學(xué)反應(yīng)氧化材料，同時(shí)幫助吹走割縫內(nèi)的熔渣。切割聚一類塑料使用壓縮空氣，棉、紙等材料切割使用惰性氣體。進(jìn)入噴嘴的輔助氣體還能冷卻聚焦透鏡，防止進(jìn)入透鏡座內(nèi)污染鏡片并導(dǎo)致鏡片過熱。

在切割過程中必須添加與被切材料相適合的輔助氣體。同軸的氣體除了吹走割縫內(nèi)的熔渣外，還能冷卻加工物體表面，減少熱影響區(qū)，冷卻聚焦透鏡，防止進(jìn)入透鏡座內(nèi)污染鏡片并致使鏡片過熱。氣體壓力和種類的選擇對(duì)切割影響較大。常見的氣體有：空氣，氧氣，氮?dú)?。切割工藝與以下因素有關(guān)：激光模式，激光功率，焦點(diǎn)位置，噴嘴高度，噴嘴直徑，輔助氣體，輔助氣體純度，輔助氣體流量，輔助氣體壓力，切 割速度，板材速度，板材表面質(zhì)量

氣化切割將材料蒸發(fā)，盡可能減小了對(duì)周圍材料的熱效應(yīng)影響。采用連續(xù) CO2 激光加工蒸發(fā)低熱量、高吸收的材料就可以達(dá)到上述效果，例如薄的塑料薄膜以及木材、紙、泡沫等不熔化的材料。

超短脈沖激光使這項(xiàng)技術(shù)可以應(yīng)用于其他材料。金屬中的自由電子吸收激光并劇烈升溫。激光脈沖不與熔融的粒子和等離子體反應(yīng)，材料直接升華，沒有時(shí)間將能量以熱量的形式傳給周圍材料。皮秒脈沖燒蝕材料時(shí)沒有明顯的熱效應(yīng)，沒有熔化和毛刺形成。