潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時(shí)變形小的材料。

潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列要求:

1 潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于除塵，并應(yīng)減少凹凸面。

2 踢腳不應(yīng)突出墻面。

3 潔凈室不宜采用砌筑墻抹灰墻面，當(dāng)必須采用時(shí)宜干燥作業(yè)，抹灰應(yīng)采用高ji抹灰標(biāo)準(zhǔn)。墻面抹灰后應(yīng)刷涂料面層，并應(yīng)選用難燃、不開裂、耐清洗、表面光滑、不易吸水變質(zhì)發(fā)霉的涂料。

    無(wú)塵潔凈棚又名凈化潔凈棚、百級(jí)潔凈棚、千級(jí)潔凈棚、萬(wàn)級(jí)潔凈棚，為在亂流式之無(wú)塵車間空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨(dú)立之HEPA或 ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為較好潔凈空間，內(nèi)部空間高度在2.0米左右，覆蓋面積約50m2以下，四支支柱可加裝活動(dòng)輪，可為彈性運(yùn)用，可配套風(fēng)淋室使用。

    無(wú)塵潔凈棚材料：無(wú)塵潔凈棚的框架一般有：不銹鋼方通，鐵方通，鋁型材三種。無(wú)塵潔凈棚頂部材料一般有：不銹鋼板，冷軋鋼板噴塑，防靜電網(wǎng)格圍簾，(防靜電)亞克力板三種。潔凈送風(fēng)部分，一般選擇FFU層流罩(FFU層流送風(fēng)單元)無(wú)塵潔凈棚的圍護(hù)材料一般包括：防靜電圍簾，(防靜電)亞克力板兩種。

潔凈室中的溫濕度控制：

    潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。

    具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過(guò)25度。

    濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)蕞佳溫度范圍為35—45%。